Naše podjetje zagotavljaSiC prevlekaprocesne storitve na površini grafita, keramike in drugih materialov z metodo CVD, tako da lahko posebni plini, ki vsebujejo ogljik in silicij, reagirajo pri visoki temperaturi, da dobijo molekule Sic visoke čistosti, ki se lahko nanesejo na površino prevlečenih materialov in tvorijoSiC zaščitna plastza hipnotik tipa sod za epitaksijo.
Glavne značilnosti:
1. SiC prevlečen grafit visoke čistosti
2. Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
3. V reduPrevlečen s kristali SiCza gladko površino
4. Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju

Glavne specifikacijeCVD-SIC prevleka
SiC-CVD lastnosti | ||
Kristalna struktura | FCC β faza | |
Gostota | g/cm³ | 3.21 |
Trdota | Trdota po Vickersu | 2500 |
Velikost zrn | μm | 2~10 |
Kemijska čistost | % | 99,99995 |
Toplotna zmogljivost | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
Temperatura sublimacije | ℃ | 2700 |
Feleksuralna moč | MPa (RT 4-točkovno) | 415 |
Youngov modul | Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) | 430 |
Toplotna ekspanzija (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
Toplotna prevodnost | (W/mK) | 300 |







-
Material toplotnega polja za kristale silicijevega karbida ...
-
Polprevodniški MOCVD grelec substrata MOCVD Heat...
-
SiC nosilec za RTP/RTA toplotno obdelavo s hitrim segrevanjem ...
-
Prevzem soda s silicijevim karbidom za Waf...
-
Polprevodniški čoln iz rezin iz silicijevega karbida
-
Nosilec rezin Epitaxy