Epitaksialni deli MOCVD

Grafitni sprejemnik s prevleko iz silicijevega karbida, 8-palčni nosilec rezin
19 kosov 2-palčnih delov opreme MOCVD z grafitno osnovo
Grafitni susceptor s prevleko iz silicijevega karbida, 6 kosov 6-palčnega nosilca rezin
Polprevodniški epitaksialni disk iz monokristalnega silicija, prevlečen s SiC
Disk iz silicijevega karbida za MOCVD
Protioksidacijski MOCVD pladenj visoke čistosti, prevlečen s SiC
41 delov opreme MOCVD s 4-palčnim grafitnim podstavkom
36 kosov 4-palčnih delov opreme MOCVD z grafitno osnovo
Modra/zelena LED epitaksija
Postopek s prevleko iz SiC za grafitne nosilce s prevleko iz SiC
GaN epitaksija na osnovi silicija