SemiceraKeramična prevleka iz silicijevega karbidaje visoko zmogljiva zaščitna prevleka iz izjemno trdega in na obrabo odpornega materiala silicijev karbid (SiC). Prevleko običajno nanesemo na površino substrata s postopkom CVD ali PVDdelci silicijevega karbida, ki zagotavlja odlično odpornost proti kemični koroziji in visoko temperaturno stabilnost. Zato se keramična prevleka iz silicijevega karbida pogosto uporablja v ključnih komponentah opreme za proizvodnjo polprevodnikov.
V proizvodnji polprevodnikov,SiC prevlekalahko prenese izjemno visoke temperature do 1600°C, zato se keramična prevleka iz silicijevega karbida pogosto uporablja kot zaščitna plast za opremo ali orodja za preprečevanje poškodb pri visokih temperaturah ali korozivnih okoljih.
Ob istem času,keramična prevleka iz silicijevega karbidalahko se upre eroziji kislin, alkalij, oksidov in drugih kemičnih reagentov ter ima visoko korozijsko odpornost na različne kemične snovi. Zato je ta izdelek primeren za različna korozivna okolja v industriji polprevodnikov.
Poleg tega ima SiC v primerjavi z drugimi keramičnimi materiali večjo toplotno prevodnost in lahko učinkovito prevaja toploto. Ta lastnost določa, da je v polprevodniških procesih, ki zahtevajo natančen nadzor temperature, visoka toplotna prevodnostKeramična prevleka iz silicijevega karbidapomaga enakomerno razpršiti toploto, preprečiti lokalno pregrevanje in zagotoviti delovanje naprave pri optimalni temperaturi.
| Osnovne fizikalne lastnosti CVD sic prevleke | |
| Lastnina | Tipična vrednost |
| Kristalna struktura | FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena |
| Gostota | 3,21 g/cm³ |
| Trdota | 2500 Vickers trdota（500g obremenitev） |
| Velikost zrn | 2~10 μm |
| Kemijska čistost | 99,99995 % |
| Toplotna zmogljivost | 640 J·kg-1·K-1 |
| Temperatura sublimacije | 2700 ℃ |
| Upogibna trdnost | 415 MPa RT 4-točkovno |
| Youngov modul | 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃ |
| Toplotna prevodnost | 300 W·m-1·K-1 |
| Toplotna ekspanzija (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
