Obroč za fokusiranje iz trdnega SiC

Solid SiC Focus Ring podjetja Semicera je vrhunska komponenta, zasnovana za izpolnjevanje zahtev napredne proizvodnje polprevodnikov. Izdelano iz visoko čistočeSilicijev karbid (SiC), je ta fokusni obroč idealen za široko paleto aplikacij v industriji polprevodnikov, zlasti vCVD procesi SiC, plazemsko jedkanje inICPRIE (induktivno sklopljeno plazemsko reaktivno ionsko jedkanje). Znan po svoji izjemni odpornosti proti obrabi, visoki toplotni stabilnosti in čistosti zagotavlja dolgotrajno delovanje v visoko obremenjenih okoljih.

V polprevodnikuoblatPri obdelavi so obroči za fokus iz trdnega SiC ključnega pomena za vzdrževanje natančnega jedkanja med suhim jedkanjem in jedkanjem rezin. Fokusni obroč iz SiC pomaga pri fokusiranju plazme med procesi, kot je delovanje stroja za plazemsko jedkanje, zaradi česar je nepogrešljiv za jedkanje silicijevih rezin. Trden SiC material nudi neprimerljivo odpornost proti eroziji, zagotavlja dolgo življenjsko dobo vaše opreme in zmanjšuje čas izpadov, kar je bistveno za ohranjanje visoke zmogljivosti pri izdelavi polprevodnikov.

Solid SiC Focus Ring podjetja Semicera je zasnovan tako, da vzdrži ekstremne temperature in agresivne kemikalije, ki se pogosto pojavljajo v industriji polprevodnikov. Izdelan je posebej za uporabo pri visoko natančnih nalogah, kot je nprCVD SiC prevleke, kjer sta čistost in trajnost najpomembnejši. Ta izdelek z odlično odpornostjo na toplotne šoke zagotavlja dosledno in stabilno delovanje v najtežjih pogojih, vključno z izpostavljenostjo visokim temperaturam medoblatpostopki jedkanja.