RTPCVD SiC obročise pogosto uporabljajo na industrijskih in znanstvenih področjih v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih. Ima pomembno vlogo v proizvodnji polprevodnikov, optoelektroniki, natančnih strojih in kemični industriji. Posebne aplikacije vključujejo:
1. Proizvodnja polprevodnikov:RTP CVD SiC obročise lahko uporablja za ogrevanje in hlajenje polprevodniške opreme, ki zagotavlja stabilen nadzor temperature in zagotavlja natančnost in doslednost procesa.
2. Optoelektronika: zaradi odlične toplotne prevodnosti in visoke temperaturne odpornosti, RTPCVD SiC obročise lahko uporablja kot podpora in material za odvajanje toplote za laserje, optično komunikacijsko opremo in optične komponente.
3. Precizni stroji: RTP CVD SiC obroči se lahko uporabljajo za natančne instrumente in opremo v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih, kot so visokotemperaturne peči, vakuumske naprave in kemični reaktorji.
4. Kemična industrija: zaradi svoje odpornosti proti koroziji in kemične stabilnosti se obroči RTP CVD SiC lahko uporabljajo v posodah, ceveh in reaktorjih v kemičnih reakcijah in katalitičnih procesih.
Epi sistem
RTP sistem
CVD sistem
Zmogljivost izdelka:
1. Spoznajte postopek pod 28 nm
2. Super odpornost proti koroziji
3. Super čista zmogljivost
4. Super trdota
5. Visoka gostota
6. Visoka temperaturna odpornost
7. Odpornost proti obrabi
Uporaba izdelka:
Materiali iz silicijevega karbida imajo značilnosti visoke trdote, odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji in visoke temperaturne stabilnosti. Izdelki z odlično celovito zmogljivostjo se pogosto uporabljajo v postopkih suhega jedkanja in TF/difuzije.
Zmogljivost izdelka:
1. Spoznajte postopek pod 28 nm
2. Super odpornost proti koroziji
3. Super čista zmogljivost
4. Super trdota
5. Visoka gostota
6. Visoka temperaturna odpornost
7. Odpornost proti obrabi
Razvoj kompozitnega procesa:
• Grafit +SiC prevleka
• Trden CVD SiC
• Sintran SiC+CVD
• SicSintered SiC
Razvoj več vrst izdelkov:
• Prstan
• Tabela
• Suceptor
• Tuš glava