Kot ena izmed osrednjih sestavin
Čeprav ima grafit odlično toplotno prevodnost in stabilnost, ima dobro prednost kot osnovna komponenta, vendar bo v proizvodnem procesu grafit razjedel prah zaradi ostankov korozivnih plinov in kovinskih organskih snovi, življenjska doba grafitne osnove pa se bo močno zmanjšala.Istočasno bo padajoči grafitni prah povzročil onesnaženje čipa.
okolju uporabe mora grafitna osnovna površinska prevleka izpolnjevati naslednje značilnosti:
(3) Ima dobro kemično stabilnost, da se prepreči odpoved premaza pri visoki temperaturi in jedki atmosferi.
Trenutno je običajni SiC v glavnem tip 3C, 4H in 6H, uporaba različnih vrst kristalov SiC pa je različna.Na primer, 4H-SiC lahko proizvaja visoko zmogljive naprave;6H-SiC je najbolj stabilen in lahko proizvaja fotoelektrične naprave;Zaradi podobne strukture kot GaN se lahko 3C-SiC uporablja za izdelavo epitaksialne plasti GaN in izdelavo RF naprav SiC-GaN.3C-SIC je splošno znan tudi kotβ-SiC in pomembna uporabaββ