Semicera predstavlja kakovostno po merikonzolna vesla iz silicijevega karbidaizdelani za izboljšanje procesov proizvodnje polprevodnikov. InovativniSiC vesloZasnova zagotavlja izjemno vzdržljivost in visoko toplotno odpornost, zaradi česar je bistvena komponenta za ravnanje z rezinami v zahtevnih visokotemperaturnih okoljih.
TheVeslo iz silicijevega karbidaje zgrajen tako, da vzdrži ekstremne termične cikle, hkrati pa ohranja strukturno celovitost in zagotavlja zanesljiv transport rezin v kritičnih fazah proizvodnje polprevodnikov. Z vrhunsko mehansko trdnostjo, točoln napolitankezmanjšuje tveganje poškodb rezin, kar vodi do višjih donosov in dosledne kakovosti proizvodnje.
Ena od ključnih novosti pri Semicerinem SiC veslu je v možnostih oblikovanja po meri. Veslo, prilagojeno specifičnim proizvodnim potrebam, ponuja prilagodljivost pri integraciji z različnimi nastavitvami opreme, zaradi česar je idealna rešitev za sodobne proizvodne procese. Lahka, a robustna konstrukcija omogoča enostavno rokovanje in zmanjšuje obratovalne izpade, kar prispeva k izboljšani učinkovitosti v proizvodnji polprevodnikov.
Poleg toplotnih in mehanskih lastnosti,Veslo iz silicijevega karbidanudi odlično kemično odpornost, kar mu omogoča zanesljivo delovanje tudi v težkih kemičnih okoljih. Zaradi tega je še posebej primeren za uporabo v procesih, ki vključujejo jedkanje, nanašanje in visokotemperaturno obdelavo, kjer je ohranjanje celovitosti ladja rezin ključnega pomena za zagotavljanje visokokakovostnih rezultatov.
Fizikalne lastnosti prekristaliziranega silicijevega karbida | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Delovna temperatura (°C) | 1600°C (s kisikom), 1700°C (redukcijsko okolje) |
Vsebnost SiC | > 99,96 % |
Brezplačne Si vsebine | < 0,1 % |
Nasipna gostota | 2,60-2,70 g/cm3 |
Navidezna poroznost | < 16 % |
Trdnost stiskanja | > 600 MPa |
Hladna upogibna trdnost | 80-90 MPa (20 °C) |
Trdnost pri vročem upogibanju | 90-100 MPa (1400 °C) |
Toplotna ekspanzija pri 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Toplotna prevodnost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul elastičnosti | 240 GPa |
Odpornost na toplotni udar | Izjemno dobro |