Modra/zelena LED epitaksija podjetja Semicera ponuja vrhunske rešitve za visoko zmogljivo proizvodnjo LED. Semicerina modro/zelena LED epitaksija tehnologija, zasnovana za podporo naprednim epitaksialnim procesom rasti, povečuje učinkovitost in natančnost pri izdelavi modrih in zelenih LED, ki so ključne za različne optoelektronske aplikacije. Ta rešitev z uporabo najsodobnejše epitaksije Si in SiC epitaksije zagotavlja odlično kakovost in vzdržljivost.
V procesu izdelave igra MOCVD Susceptor ključno vlogo, skupaj s komponentami, kot so PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier in RTP Carrier, ki optimizirajo epitaksialno rastno okolje. Semicerina modra/zelena LED epitaksija je zasnovana tako, da zagotavlja stabilno podporo za LED epitaksialni susceptor, sodčasti susceptor in monokristalni silicij, kar zagotavlja proizvodnjo doslednih visokokakovostnih rezultatov.
Ta postopek epitaksije je ključnega pomena za ustvarjanje fotonapetostnih delov in podpira aplikacije, kot je epitaksija GaN na SiC, s čimer izboljša splošno učinkovitost polprevodnikov. Ne glede na to, ali so v konfiguraciji Pancake Susceptor ali se uporabljajo v drugih naprednih nastavitvah, semicerine modro/zelene LED epitaksijske rešitve ponujajo zanesljivo delovanje in pomagajo proizvajalcem zadovoljiti naraščajoče povpraševanje po visokokakovostnih LED komponentah.
Glavne značilnosti:
1. Odpornost proti oksidaciji pri visoki temperaturi:
odpornost proti oksidaciji je še vedno zelo dobra, ko temperatura doseže 1600 C.
2. Visoka čistost: narejeno s kemičnim naparjevanjem v pogojih kloriranja pri visoki temperaturi.
3. Odpornost proti eroziji: visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
4. Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
Glavne specifikacijeCVD-SIC prevleka
| SiC-CVD lastnosti | ||
| Kristalna struktura | FCC β faza | |
| Gostota | g/cm³ | 3.21 |
| Trdota | Trdota po Vickersu | 2500 |
| Velikost zrn | μm | 2~10 |
| Kemijska čistost | % | 99,99995 |
| Toplotna zmogljivost | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Temperatura sublimacije | ℃ | 2700 |
| Feleksuralna moč | MPa (RT 4-točkovno) | 415 |
| Youngov modul | Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) | 430 |
| Toplotna ekspanzija (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Toplotna prevodnost | (W/mK) | 300 |
