Roka za obdelavo rezinje ključna oprema, ki se uporablja v procesu izdelave polprevodnikov za rokovanje, prenos in pozicioniranjenapolitanke. Običajno je sestavljen iz robotske roke, prijemala in krmilnega sistema z možnostjo natančnega premikanja in pozicioniranja.Ročice za obdelavo rezinse pogosto uporabljajo v različnih povezavah v proizvodnji polprevodnikov, vključno s koraki postopka, kot so nalaganje rezin, čiščenje, nanašanje tankega filma, jedkanje, litografija in pregled. Njegova natančnost, zanesljivost in zmožnosti avtomatizacije so bistvenega pomena za zagotavljanje kakovosti, učinkovitosti in doslednosti proizvodnega procesa.
Glavne funkcije roke za obdelavo rezin vključujejo:
1. Prenos rezin: Roka za ravnanje z rezinami lahko natančno prenese rezine z ene lokacije na drugo, na primer jemanje rezin iz stojala za shranjevanje in njihovo namestitev v napravo za obdelavo.
2. Postavitev in orientacija: Roka za upravljanje rezin lahko natančno postavi in usmeri rezino, da zagotovi pravilno poravnavo in položaj za poznejšo obdelavo ali meritve.
3. Vpenjanje in sprostitev: roke za ravnanje z rezinami so običajno opremljene s prijemali, ki lahko varno vpnejo rezine in jih po potrebi sprostijo, da se zagotovi varen prenos in ravnanje z rezinami.
4. Avtomatsko krmiljenje: Roka za ravnanje z rezinami je opremljena z naprednim nadzornim sistemom, ki lahko samodejno izvede vnaprej določena zaporedja dejanj, izboljša proizvodno učinkovitost in zmanjša človeške napake.
Značilnosti in prednosti
1. Natančne dimenzije in toplotna stabilnost.
2.Visoka specifična togost in odlična toplotna enotnost, dolgotrajna uporaba ni enostavna za upogibanje deformacije.
3.Ima gladko površino in dobro odpornost proti obrabi, zato varno ravna s čipom brez kontaminacije z delci.
4. Upornost silicijevega karbida v 106-108 Ω, nemagnetna, v skladu z zahtevami specifikacije proti ESD; Lahko prepreči kopičenje statične elektrike na površini čipa.
5. Dobra toplotna prevodnost, nizek koeficient raztezanja.
