Prevleke iz tantalovega karbida (TaC) z visoko čistostjo, visoko temperaturno stabilnostjo in visoko kemično odpornostjo

Kratek opis:

Prevleka TaC je nova generacija materiala, odpornega na visoke temperature, z boljšo stabilnostjo pri visokih temperaturah kot SiC, ki služi kot prevleka, odporna proti koroziji, oksidaciji in obrabi, ki se lahko uporablja v okolju nad 2000 ℃, pogosto se uporablja v letalski in vesoljski ultravisokotemperaturni vroči deli, tretja generacija polprevodniške rasti monokristalov in druga področja.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Semicera zagotavlja specializirane prevleke iz tantalovega karbida (TaC) za različne komponente in nosilce.Vodilni postopek nanosa Semicera omogoča, da prevleke iz tantalovega karbida (TaC) dosežejo visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično toleranco, s čimer izboljšajo kakovost izdelkov kristalov SIC/GAN in plasti EPI (TaC suceptor prevlečen z grafitom) in podaljšanje življenjske dobe ključnih komponent reaktorja. Uporaba prevleke TaC iz tantalovega karbida je namenjena reševanju problema robov in izboljšanju kakovosti rasti kristalov, Semicera pa je prelomno rešila tehnologijo prevleke iz tantalovega karbida (CVD) in dosegla mednarodno napredno raven.

Semicera je po letih razvoja osvojila tehnologijoCVD TaCs skupnimi močmi oddelka za raziskave in razvoj. Napake se zlahka pojavijo v procesu rasti SiC rezin, vendar po uporabiTaC, razlika je bistvena. Spodaj je primerjava rezin z in brez TaC ter delov Semicera za rast monokristalov

Tac del za rast monokristala

Prevleka iz tantalovega karbida proti obrabi_ Ščiti opremo pred obrabo in korozijo Prikazana slika

Grafit s TaC prevlečenim obročem

z in brez TaC

Po uporabi TaC (desno)

Poleg tega je življenjska doba izdelkov Semicera s prevleko TaC daljša in bolj odporna na visoke temperature kot pri prevleki SiC. Po dolgem času podatkov laboratorijskih meritev lahko naš TaC dolgo časa deluje pri največ 2300 stopinjah Celzija. Sledi nekaj naših vzorcev: