Nosilna plošča, prevlečena s tantalovim karbidomje suceptor ali nosilna struktura, ki je prekrita s tanko plastjotantalov karbid. To prevleko je mogoče oblikovati na površini suceptorja s tehnikami, kot je fizično naparjevanje (PVD) ali kemično naparjevanje (CVD), kar daje suceptorju vrhunske lastnostitantalov karbid.
Semicera zagotavlja specializirane prevleke iz tantalovega karbida (TaC) za različne komponente in nosilce.Vodilni postopek nanosa Semicera omogoča, da prevleke iz tantalovega karbida (TaC) dosežejo visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično toleranco, s čimer izboljšajo kakovost izdelkov kristalov SIC/GAN in plasti EPI (TaC suceptor prevlečen z grafitom) in podaljšanje življenjske dobe ključnih komponent reaktorja. Uporaba prevleke TaC iz tantalovega karbida je namenjena reševanju problema robov in izboljšanju kakovosti rasti kristalov, Semicera pa je prelomno rešila tehnologijo prevleke iz tantalovega karbida (CVD) in dosegla mednarodno napredno raven.
Glavne značilnosti podpornih plošč, prevlečenih s tantalovim karbidom, vključujejo:
1. Visokotemperaturna stabilnost: Tantalov karbid ima odlično visokotemperaturno stabilnost, zaradi česar je prevlečena osnovna podporna plošča primerna za potrebe podpore v delovnih okoljih z visoko temperaturo.
2. Odpornost proti koroziji: prevleka iz tantalovega karbida ima dobro odpornost proti koroziji, lahko se upre kemični koroziji in oksidaciji ter podaljša življenjsko dobo baze.
3. Visoka trdota in odpornost proti obrabi: visoka trdota prevleke iz tantalovega karbida daje osnovni nosilni plošči dobro odpornost proti obrabi, kar je primerno za primere, ko je potrebna visoka odpornost proti obrabi.
4. Kemijska stabilnost: Tantalov karbid ima visoko stabilnost na različne kemične snovi, zaradi česar se prevlečena osnovna nosilna plošča dobro obnese v nekaterih jedkih okoljih.
z in brez TaC
Po uporabi TaC (desno)
Še več, Semicera'sIzdelki, prevlečeni s TaCimajo daljšo življenjsko dobo in večjo odpornost na visoke temperature v primerjavi zSiC prevleke.Laboratorijske meritve so pokazale, da našTaC premazilahko dosledno deluje pri temperaturah do 2300 stopinj Celzija daljša obdobja. Spodaj je nekaj primerov naših vzorcev:
