Grafitna plošča, prevlečena s tantalovim karbidomje grafitni material s tanko plastjotantalov karbidna površini podlage. Tanka plast tantalovega karbida se običajno oblikuje na površini grafitne podlage s tehnikami, kot je fizično naparjevanje (PVD) ali kemično naparjevanje (CVD). Ta premaz ima odlične lastnosti, kot so visoka trdota, odlična odpornost proti obrabi, odpornost proti koroziji in visoka temperaturna stabilnost.
Semicera zagotavlja specializirane prevleke iz tantalovega karbida (TaC) za različne komponente in nosilce.Vodilni postopek nanosa Semicera omogoča, da prevleke iz tantalovega karbida (TaC) dosežejo visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično toleranco, s čimer izboljšajo kakovost izdelkov kristalov SIC/GAN in plasti EPI (TaC suceptor prevlečen z grafitom) in podaljšanje življenjske dobe ključnih komponent reaktorja. Uporaba prevleke TaC iz tantalovega karbida je namenjena reševanju problema robov in izboljšanju kakovosti rasti kristalov, Semicera pa je prelomno rešila tehnologijo prevleke iz tantalovega karbida (CVD) in dosegla mednarodno napredno raven.
Glavne prednosti grafitne plošče, prevlečene s tantalovim karbidom, vključujejo:
1. Odpornost na visoke temperature: Tantalov karbid ima visoko tališče in odlično stabilnost pri visokih temperaturah, zaradi česar je prevlečena grafitna plošča primerna za uporabo v okoljih z visoko temperaturo.
2. Odpornost proti koroziji: prevleka iz tantalovega karbida se lahko upre eroziji številnih kemičnih jedkih snovi in podaljša življenjsko dobo materiala.
3. Visoka trdota: Visoka trdota tanke plasti tantalovega karbida zagotavlja dobro odpornost proti obrabi in je primerna za aplikacije, ki zahtevajo visoko odpornost proti obrabi.
4. Kemijska stabilnost: Prevleka iz tantalovega karbida ima odlično stabilnost proti kemični koroziji in je primerna za uporabo v nekaterih korozivnih medijih.
z in brez TaC
Po uporabi TaC (desno)
Še več, Semicera'sIzdelki, prevlečeni s TaCimajo daljšo življenjsko dobo in večjo odpornost na visoke temperature v primerjavi zSiC prevleke.Laboratorijske meritve so pokazale, da našTaC premazilahko dosledno deluje pri temperaturah do 2300 stopinj Celzija daljša obdobja. Spodaj je nekaj primerov naših vzorcev:
