Semicera zagotavlja specializirane prevleke iz tantalovega karbida (TaC) za različne komponente in nosilce.Vodilni postopek nanosa Semicera omogoča, da prevleke iz tantalovega karbida (TaC) dosežejo visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično toleranco, s čimer izboljšajo kakovost izdelkov kristalov SIC/GAN in plasti EPI (TaC suceptor prevlečen z grafitom) in podaljšanje življenjske dobe ključnih komponent reaktorja. Uporaba prevleke TaC iz tantalovega karbida je namenjena reševanju problema robov in izboljšanju kakovosti rasti kristalov, Semicera pa je prelomno rešila tehnologijo prevleke iz tantalovega karbida (CVD) in dosegla mednarodno napredno raven.
Nosilci za rezine, prevlečeni s tantalovim karbidom, se pogosto uporabljajo v postopkih obdelave rezin in ravnanja v procesih izdelave polprevodnikov. Zagotavljajo stabilno podporo in zaščito za zagotavljanje varnosti, natančnosti in doslednosti rezin med proizvodnim procesom. Prevleke iz tantalovega karbida lahko podaljšajo življenjsko dobo nosilca, zmanjšajo stroške ter izboljšajo kakovost in zanesljivost polprevodniških izdelkov.
Opis nosilca rezin, prevlečenega s tantalovim karbidom, je naslednji:
1. Izbira materiala: Tantalov karbid je material z odlično zmogljivostjo, visoko trdoto, visokim tališčem, odpornostjo proti koroziji in odličnimi mehanskimi lastnostmi, zato se pogosto uporablja v procesu izdelave polprevodnikov.
2. Površinska prevleka: prevleka iz tantalovega karbida se nanese na površino nosilca rezin s posebnim postopkom prevleke, da se oblikuje enakomerna in gosta prevleka iz tantalovega karbida. Ta premaz lahko zagotovi dodatno zaščito in odpornost proti obrabi, hkrati pa ima dobro toplotno prevodnost.
3. Ploskost in natančnost: Nosilec za rezine, prevlečen s tantalovim karbidom, ima visoko stopnjo ravnosti in natančnosti, kar zagotavlja stabilnost in natančnost rezin med proizvodnim procesom. Ravnost in zaključek nosilne površine sta ključnega pomena za zagotavljanje kakovosti in učinkovitosti rezin.
4. Temperaturna stabilnost: Nosilci rezin, prevlečeni s tantalovim karbidom, lahko ohranijo stabilnost v visokotemperaturnih okoljih brez deformacije ali zrahljanja, kar zagotavlja stabilnost in konsistenco rezin v visokotemperaturnih procesih.
5. Odpornost proti koroziji: Premazi iz tantalovega karbida imajo odlično odpornost proti koroziji, lahko se uprejo eroziji kemikalij in topil ter ščitijo nosilec pred korozijo s tekočino in plinom.
z in brez TaC
Po uporabi TaC (desno)
Še več, Semicera'sIzdelki, prevlečeni s TaCimajo daljšo življenjsko dobo in večjo odpornost na visoke temperature v primerjavi zSiC prevleke.Laboratorijske meritve so pokazale, da našTaC premazilahko dosledno deluje pri temperaturah do 2300 stopinj Celzija daljša obdobja. Spodaj je nekaj primerov naših vzorcev: