Uvod v CVD TaC premaz:
CVD TaC Coating je tehnologija, ki uporablja nanašanje s kemično paro za nanos tantalovega karbida (TaC) na površino substrata. Tantalov karbid je visoko zmogljiv keramični material z odličnimi mehanskimi in kemičnimi lastnostmi. Postopek CVD ustvari enoten film TaC na površini substrata s plinsko reakcijo.
Glavne značilnosti:
Odlična trdota in odpornost proti obrabi: Tantalov karbid ima izjemno visoko trdoto in CVD TaC prevleka lahko znatno izboljša odpornost podlage proti obrabi. Zaradi tega je premaz idealen za uporabo v okoljih z visoko obrabo, kot so orodja za rezanje in kalupi.
Stabilnost pri visokih temperaturah: Prevleke iz TaC ščitijo kritične komponente peči in reaktorja pri temperaturah do 2200 °C, kar kaže na dobro stabilnost. Ohranja kemično in mehansko stabilnost v ekstremnih temperaturnih pogojih, zaradi česar je primeren za visokotemperaturno obdelavo in uporabo v visokotemperaturnih okoljih.
Odlična kemična stabilnost: Tantalov karbid ima močno korozijsko odpornost na večino kislin in alkalij, prevleka CVD TaC pa lahko učinkovito prepreči poškodbe podlage v korozivnih okoljih.
Visoko tališče: Tantalov karbid ima visoko tališče (približno 3880 °C), kar omogoča uporabo prevleke CVD TaC v pogojih ekstremnih visokih temperatur brez taljenja ali razgradnje.
Odlična toplotna prevodnost: Prevleka TaC ima visoko toplotno prevodnost, kar pomaga učinkovito odvajati toploto pri visokotemperaturnih procesih in preprečuje lokalno pregrevanje.
Potencialne aplikacije:
• Komponente epitaksialnih CVD reaktorjev iz galijevega nitrida (GaN) in silicijevega karbida, vključno z nosilci rezin, satelitskimi krožniki, prhami, stropi in susceptorji
• Komponente za rast kristalov iz silicijevega karbida, galijevega nitrida in aluminijevega nitrida (AlN), vključno s lončki, držali za setve, vodilnimi obroči in filtri
• Industrijske komponente, vključno z uporovnimi grelnimi elementi, brizgalnimi šobami, maskirnimi obroči in pripravami za trdo spajkanje
Lastnosti aplikacije:
• Temperaturno stabilen nad 2000°C, kar omogoča delovanje pri ekstremnih temperaturah
• Odporen na vodik (Hz), amoniak (NH3), monosilan (SiH4) in silicij (Si), kar zagotavlja zaščito v težkih kemičnih okoljih
• Njegova odpornost na toplotne udarce omogoča hitrejše delovne cikle
• Grafit ima močan oprijem, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo in brez razslojevanja premaza.
• Izjemno visoka čistost za odstranjevanje nepotrebnih nečistoč ali kontaminantov
• Konformna prevleka do ozkih dimenzijskih toleranc
Tehnične specifikacije:
Priprava gostih prevlek iz tantalovega karbida s CVD:
TAC premaz z visoko kristaliničnostjo in odlično enakomernostjo:
Tehnični parametri CVD TAC COATING_Semicera:
Zgoraj navedene so tipične vrednosti.
