TaC prevlečeni grafitni vodilni obročise nanašajo na nanos tanke plastitantalov karbidna površini grafitnega vodilnega obroča za izboljšanje njegove odpornosti proti obrabi, visoke temperature in kemične stabilnosti. Ta prevleka se običajno oblikuje na površini grafitnega vodilnega obroča s tehnikami, kot je fizično naparjevanje (PVD) ali kemično naparjevanje (CVD).
Semicera zagotavlja specializirane prevleke iz tantalovega karbida (TaC) za različne komponente in nosilce.Vodilni postopek nanosa Semicera omogoča, da prevleke iz tantalovega karbida (TaC) dosežejo visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično toleranco, s čimer izboljšajo kakovost izdelkov kristalov SIC/GAN in plasti EPI (TaC suceptor prevlečen z grafitom) in podaljšanje življenjske dobe ključnih komponent reaktorja. Uporaba prevleke TaC iz tantalovega karbida je namenjena reševanju problema robov in izboljšanju kakovosti rasti kristalov, Semicera pa je prelomno rešila tehnologijo prevleke iz tantalovega karbida (CVD) in dosegla mednarodno napredno raven.
Glavne značilnosti grafitnih vodilnih obročev, prevlečenih s TaC, vključujejo:
1. Odpornost na visoke temperature: prevleka TaC ima odlično stabilnost pri visokih temperaturah in lahko ohranja stabilnost v okoljih z visoko temperaturo.
2. Odpornost proti obrabi: Visoka trdota tanke plasti tantalovega karbida daje vodilnemu obroču dobro odpornost proti obrabi in podaljšuje njegovo življenjsko dobo.
3. Kemijska stabilnost: prevleka TaC ima visoko stabilnost proti kemični koroziji, zaradi česar je primerna za uporabo v nekaterih korozivnih medijih.
4. Zmanjšajte trenje: prevleka TaC lahko učinkovito zmanjša trenje med grafitnim vodilnim obročem in drugimi komponentami ter izboljša učinkovitost mehanskih tesnil.
z in brez TaC
Po uporabi TaC (desno)
Še več, Semicera'sIzdelki, prevlečeni s TaCimajo daljšo življenjsko dobo in večjo odpornost na visoke temperature v primerjavi zSiC prevleke.Laboratorijske meritve so pokazale, da našTaC premazilahko dosledno deluje pri temperaturah do 2300 stopinj Celzija daljša obdobja. Spodaj je nekaj primerov naših vzorcev:
