Pregled izdelka
TheS silicijem impregnirano lopatico iz silicijevega karbida (SiC) in nosilec rezinje zasnovan tako, da izpolnjuje zahtevne zahteve aplikacij za termično obdelavo polprevodnikov. Izdelan iz SiC visoke čistosti in izboljšan s silikonsko impregnacijo, ta izdelek ponuja edinstveno kombinacijo delovanja pri visokih temperaturah, odlične toplotne prevodnosti, odpornosti proti koroziji in izjemne mehanske trdnosti.
Z integracijo napredne znanosti o materialih z natančno proizvodnjo ta rešitev proizvajalcem polprevodnikov zagotavlja vrhunsko zmogljivost, zanesljivost in vzdržljivost.
Ključne značilnosti
1.Izjemna odpornost na visoke temperature
S tališčem nad 2700 °C so SiC materiali sami po sebi stabilni pri ekstremni vročini. Silicijeva impregnacija dodatno poveča njihovo toplotno stabilnost, kar jim omogoča, da prenesejo dolgotrajno izpostavljenost visokim temperaturam brez strukturne oslabitve ali poslabšanja delovanja.
2.Vrhunska toplotna prevodnost
Izjemna toplotna prevodnost SiC-ja, impregniranega s silicijem, zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote in zmanjšuje toplotno obremenitev v kritičnih fazah obdelave. Ta lastnost podaljšuje življenjsko dobo opreme in zmanjšuje izpade proizvodnje, zaradi česar je idealna za toplotno obdelavo pri visokih temperaturah.
3.Odpornost proti oksidaciji in koroziji
Robustna plast silicijevega oksida se naravno oblikuje na površini, kar zagotavlja izjemno odpornost proti oksidaciji in koroziji. To zagotavlja dolgoročno zanesljivost v težkih delovnih okoljih in ščiti tako material kot okoliške komponente.
4.Visoka mehanska trdnost in odpornost proti obrabi
S silicijem impregniran SiC ima odlično tlačno trdnost in odpornost proti obrabi ter ohranja svojo strukturno celovitost v pogojih visoke obremenitve in visoke temperature. To zmanjša tveganje poškodb, povezanih z obrabo, in zagotavlja dosledno delovanje v daljših ciklih uporabe.
Specifikacije
| Ime izdelka | SC-RSiC-Si |
| Material | Silicon Impregnation Silicon Carbide Compact (visoka čistost) |
| Aplikacije | Deli za toplotno obdelavo polprevodnikov, deli opreme za proizvodnjo polprevodnikov |
| Obrazec za dostavo | Oblikovano telo (sintrano telo) |
| Sestava | Mehanske lastnosti | Youngov modul (GPa) | Upogibna trdnost (MPa) | ||
| Sestava (vol%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Nasipna gostota (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Toplotno odporna temperatura °C | 1350 | Poissonovo razmerje | 0,18 (RT) | ||
| Toplotne lastnosti | Toplotna prevodnost (W/(m·K)) | Specifična toplotna kapaciteta (kJ/(kg·K)) | Koeficient toplotnega raztezanja (1/K) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4,3 x 10-6 | |
| Vsebnost nečistoč ((ppm) | |||||||||||||
| Element | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Stopnja vsebine | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0,3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Aplikacije
▪Toplotna obdelava polprevodnikov:Idealno za postopke, kot so nanašanje s kemičnim naparjevanjem (CVD), epitaksialna rast in žarjenje, kjer sta kritična natančna kontrola temperature in vzdržljivost materiala.
▪Nosilci in lopatice za rezine:Zasnovan za varno držanje in transport rezin med visokotemperaturno termično obdelavo.
▪Ekstremna delovna okolja: Primerno za nastavitve, ki zahtevajo odpornost na vročino, kemično izpostavljenost in mehanske obremenitve.
Prednosti SiC-ja, impregniranega s silicijem
Kombinacija silicijevega karbida visoke čistosti in napredne tehnologije silicijeve impregnacije zagotavlja neprimerljive prednosti delovanja:
▪Natančnost:Izboljša natančnost in nadzor obdelave polprevodnikov.
▪Stabilnost:Zdrži težka okolja brez ogrožanja funkcionalnosti.
▪Dolgoživost:Podaljša življenjsko dobo opreme za proizvodnjo polprevodnikov.
▪Učinkovitost:Izboljša produktivnost z zagotavljanjem zanesljivih in doslednih rezultatov.
Zakaj izbrati naše rešitve SiC, impregnirane s silicijem?
At Semicera, smo specializirani za zagotavljanje visoko zmogljivih rešitev, prilagojenih potrebam proizvajalcev polprevodnikov. Naša s silicijem impregnirana lopatica iz silicijevega karbida in nosilec rezin sta podvržena strogemu testiranju in zagotavljanju kakovosti za izpolnjevanje industrijskih standardov. Z izbiro Semicera pridobite dostop do najsodobnejših materialov, ki so zasnovani za optimizacijo proizvodnih procesov in izboljšanje proizvodnih zmogljivosti.
Tehnične specifikacije
▪Sestava materiala:Silicijev karbid visoke čistosti s silicijevo impregnacijo.
▪Delovno temperaturno območje:Do 2700°C.
▪ Toplotna prevodnost:Izjemno visoka za enakomerno porazdelitev toplote.
▪Lastnosti odpornosti:Odporen na oksidacijo, korozijo in obrabo.
▪Aplikacije:Združljiv z različnimi sistemi termične obdelave polprevodnikov.
Kontaktirajte nas
Ste pripravljeni izboljšati svoj proizvodni proces polprevodnikov? KontaktSemiceradanes, če želite izvedeti več o naši s silicijem impregnirani lopatici iz silicijevega karbida in nosilcu rezin.
▪E-pošta: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪telefon: +86-0574-8650 3783
▪Lokacija:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, cona, provinca Zhejiang, 315201, Kitajska
