Podlage iz silicijevega karbida|SiC rezine

Substrati iz silicijevega karbida|SiC rezine Predstavljena slika

Kratek opis:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. je vodilni dobavitelj, specializiran za rezine in napredne polprevodniške potrošne materiale. Predani smo zagotavljanju visokokakovostnih, zanesljivih in inovativnih izdelkov za proizvodnjo polprevodnikov, fotovoltaično industrijo in druga sorodna področja.

Naša linija izdelkov vključuje grafitne izdelke s prevleko iz SiC/TaC in keramične izdelke, ki zajemajo različne materiale, kot so silicijev karbid, silicijev nitrid in aluminijev oksid itd.

Trenutno smo edini proizvajalec, ki zagotavlja čistost 99,9999 % prevleke SiC in 99,9 % rekristaliziranega silicijevega karbida. Največja dolžina prevleke SiC, ki jo lahko naredimo, je 2640 mm.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Monokristalni material silicijevega karbida (SiC) ima veliko širino reže (~Si 3-krat), visoko toplotno prevodnost (~Si 3,3-krat ali GaAs 10-krat), visoko stopnjo nasičenosti z elektroni (~Si 2,5-krat), visoko prebojno električno polje (~Si 10-krat ali GaAs 5-krat) in druge izjemne lastnosti.

Naprave SiC imajo nenadomestljive prednosti na področju visokih temperatur, visokih tlakov, visokih frekvenc, elektronskih naprav visoke moči in ekstremnih okoljskih aplikacij, kot so vesoljska, vojaška, jedrska energija itd., nadomeščajo pomanjkljivosti tradicionalnih naprav iz polprevodniškega materiala v praksi aplikacije in postopoma postajajo glavni tok močnostnih polprevodnikov.

Specifikacije substrata iz silicijevega karbida 4H-SiC

Predmet项目	Specifikacije参数
Politip 晶型	4H-SiC	6H-SiC
Premer 晶圆直径	2 palca \| 3 palca \| 4 palca \| 6 palcev	2 palca \| 3 palca \| 4 palca \| 6 palcev
Debelina 厚度	330 μm ~ 350 μm	330 μm ~ 350 μm
Prevodnost 导电类型	N – tip / Polizolacijski N型导电片/ 半绝缘片	N – tip / Polizolacijski N型导电片/ 半绝缘片
Dopant 掺杂剂	N2 (dušik)V (vanadij)	N2 (dušik) V (vanadij)
Orientacija 晶向	Na osi <0001> Izven osi <0001> za 4°	Na osi <0001> Izven osi <0001> za 4°
Upornost 电阻率	0,015 ~ 0,03 ohm-cm (4H-N)	0,02 ~ 0,1 ohm-cm (6H-N)
Gostota mikrocevi (MPD) 微管密度	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm	≤ 15 μm
Lok / osnova 翘曲度	≤25 μm	≤25 μm
Površina 表面处理	DSP/SSP	DSP/SSP
Ocena 产品等级	Proizvodnja / Raziskovalni razred	Proizvodnja / Raziskovalni razred
Zaporedje zlaganja kristalov 堆积方式	ABCB	ABCABC
Parameter rešetke 晶格参数	a=3,076A, c=10,053A	a=3,073A , c=15,117A
Eg/eV (pasovna vrzel) 禁带宽度	3,27 eV	3,02 eV
ε (dielektrična konstanta) 介电常数	9.6	9.66
Indeks loma 折射率	n0 =2,719 ne =2,777	n0 =2,707, ne =2,755

Specifikacije substrata iz silicijevega karbida 6H-SiC

Predmet项目	Specifikacije参数
Politip 晶型	6H-SiC
Premer 晶圆直径	4 palca \| 6 palcev
Debelina 厚度	350 μm ~ 450 μm
Prevodnost 导电类型	N – tip / Polizolacijski N型导电片/ 半绝缘片
Dopant 掺杂剂	N2 (dušik) V (vanadij)
Orientacija 晶向	<0001> izklopljeno 4°± 0,5°
Upornost 电阻率	0,02 ~ 0,1 ohm-cm (tip 6H-N)
Gostota mikrocevi (MPD) 微管密度	≤ 10/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm
Lok / osnova 翘曲度	≤25 μm
Površina 表面处理	Si Face: CMP, Epi-Ready C obraz: optično poliranje
Ocena 产品等级	Raziskovalna ocena