Nosilna plošča RTA iz silicijevega karbida za polprevodnike

Kratek opis:

Silicijev karbid je nova vrsta keramike z visoko stroškovno učinkovitostjo in odličnimi lastnostmi materiala. Zaradi lastnosti, kot so visoka trdnost in trdota, odpornost na visoke temperature, odlična toplotna prevodnost in odpornost proti kemični koroziji, lahko silicijev karbid skoraj prenese vse kemične medije. Zato se SiC pogosto uporablja v rudarstvu nafte, kemikalijah, strojih in zračnem prostoru, celo jedrska energija in vojska ima posebne zahteve glede SIC. Nekatere običajne uporabe, ki jih lahko ponudimo, so tesnilni obroči za črpalko, ventil in zaščitni oklep itd.

Sposobni smo oblikovati in izdelati po vaših posebnih dimenzijah z dobro kakovostjo in razumnim časom dostave.


Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Opis

Naše podjetje nudi storitve postopka nanosa SiC prevleke s CVD metodo na površino grafita, keramike in drugih materialov, tako da posebni plini, ki vsebujejo ogljik in silicij, reagirajo pri visoki temperaturi, da dobimo molekule SiC visoke čistosti, molekule, ki se nanesejo na površino prevlečenih materialov, tvori zaščitno plast SIC.

Glavne značilnosti

1. Odpornost proti oksidaciji pri visoki temperaturi:
odpornost proti oksidaciji je še vedno zelo dobra, ko temperatura doseže 1600 C.
2. Visoka čistost: narejeno s kemičnim naparjevanjem v pogojih kloriranja pri visoki temperaturi.
3. Odpornost proti eroziji: visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
4. Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC

SiC-CVD lastnosti

Kristalna struktura FCC β faza
Gostota g/cm³ 3.21
Trdota Trdota po Vickersu 2500
Velikost zrn μm 2~10
Kemijska čistost % 99,99995
Toplotna zmogljivost J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura sublimacije 2700
Feleksuralna moč MPa (RT 4-točkovno) 415
Youngov modul Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) 430
Toplotna ekspanzija (CTE) 10-6K-1 4.5
Toplotna prevodnost (W/mK) 300
Delovno mesto Semicera
Delovno mesto Semicera 2
Stroj za opremo
CNN obdelava, kemično čiščenje, CVD premaz
Naše storitve

  • Prejšnja:
  • Naprej: