Semicera jeEpitaksija iz silicijevega karbidaje zasnovan za izpolnjevanje strogih zahtev sodobnih polprevodniških aplikacij. Z uporabo naprednih tehnik epitaksialne rasti zagotavljamo, da vsaka plast silicijevega karbida izkazuje izjemno kristalno kakovost, enakomernost in minimalno gostoto napak. Te značilnosti so ključnega pomena za razvoj visoko zmogljive močnostne elektronike, kjer sta učinkovitost in toplotno upravljanje najpomembnejši.
TheEpitaksija iz silicijevega karbidaProces pri Semiceri je optimiziran za izdelavo epitaksialnih plasti z natančno debelino in nadzorom dopinga, kar zagotavlja dosledno delovanje v številnih napravah. Ta stopnja natančnosti je bistvena za aplikacije v električnih vozilih, sistemih obnovljive energije in visokofrekvenčnih komunikacijah, kjer sta zanesljivost in učinkovitost kritični.
Še več, Semicera'sEpitaksija iz silicijevega karbidaponuja izboljšano toplotno prevodnost in višjo prebojno napetost, zaradi česar je prednostna izbira za naprave, ki delujejo v ekstremnih pogojih. Te lastnosti prispevajo k daljši življenjski dobi naprave in izboljšani splošni učinkovitosti sistema, zlasti v okoljih z visoko močjo in visoko temperaturo.
Semicera ponuja tudi možnosti prilagajanja zaEpitaksija iz silicijevega karbida, kar omogoča prilagojene rešitve, ki izpolnjujejo posebne zahteve naprave. Ne glede na to, ali gre za raziskave ali obsežno proizvodnjo, so naši epitaksialni sloji zasnovani tako, da podpirajo novo generacijo polprevodniških inovacij, kar omogoča razvoj močnejših, učinkovitejših in zanesljivejših elektronskih naprav.
Z integracijo najsodobnejše tehnologije in strogih postopkov nadzora kakovosti Semicera zagotavlja, da našiEpitaksija iz silicijevega karbidaizdelki ne le izpolnjujejo, temveč presegajo industrijske standarde. Zaradi te zavezanosti k odličnosti so naši epitaksialni sloji idealna podlaga za napredne polprevodniške aplikacije, ki utirajo pot prebojem v močnostni elektroniki in optoelektroniki.
| Predmeti | Proizvodnja | Raziskovanje | Dummy |
| Parametri kristala | |||
| Politip | 4H | ||
| Napaka orientacije površine | <11-20 >4±0,15° | ||
| Električni parametri | |||
| Dopant | n-vrsta dušika | ||
| Upornost | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mehanski parametri | |||
| Premer | 150,0±0,2 mm | ||
| Debelina | 350±25 μm | ||
| Primarna ravna orientacija | [1-100]±5° | ||
| Primarna ravna dolžina | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundarno stanovanje | Noben | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Priklon | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45 μm ~ 45 μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Sprednja (Si-face) hrapavost (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Gostota mikrocevi | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kovinske nečistoče | ≤5E10atomov/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Sprednja kakovost | |||
| Spredaj | Si | ||
| Površinska obdelava | Si-face CMP | ||
| delci | ≤60ea/vafelj (velikost≥0,3μm) | NA | |
| praske | ≤5ea/mm. Kumulativna dolžina ≤premera | Kumulativna dolžina≤2*Premer | NA |
| Pomarančna lupina/jamice/madeži/braze/razpoke/kontaminacija | Noben | NA | |
| Robni odrezki/vdolbine/zlomi/šestokotne plošče | Noben | ||
| Politipska območja | Noben | Kumulativna površina≤20% | Kumulativna površina≤30% |
| Sprednje lasersko označevanje | Noben | ||
| Kakovost hrbta | |||
| Zadnji zaključek | C-obraz CMP | ||
| praske | ≤5ea/mm, kumulativna dolžina≤2*premer | NA | |
| Napake na zadnji strani (ostružki robov/vdolbine) | Noben | ||
| Hrapavost hrbta | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasersko označevanje hrbta | 1 mm (od zgornjega roba) | ||
| Edge | |||
| Edge | Posnemanje | ||
| Pakiranje | |||
| Pakiranje | Epi-ready z vakuumsko embalažo Embalaža kaset z več rezinami | ||
| *Opombe: "NA" pomeni, da ni zahteve. Elementi, ki niso omenjeni, se lahko nanašajo na SEMI-STD. | |||
