Grafitni susceptor s prevleko iz silicijevega karbida

Kratek opis:

Semicera Semiconductor's Silicon Carbide Coating Graphite Susceptor zagotavlja izjemno toplotno prevodnost in vzdržljivost za aplikacije epitaksije. Zanesite se na Semicera za napredne suceptorje, zasnovane za izboljšanje vaših epitaksialnih procesov z vrhunsko tehnologijo prevleke SiC.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Opis

Grafitni prijemalniki Semicera, prevlečeni s SiC, so zasnovani z uporabo visokokakovostnih grafitnih substratov, ki so natančno prevlečeni s silicijevim karbidom (SiC) z naprednimi postopki kemičnega naparjevanja (CVD). Ta inovativna zasnova zagotavlja izjemno odpornost na toplotni udar in kemično razgradnjo, s čimer znatno podaljšuje življenjsko dobo grafitnega sprejemnika, prevlečenega s SiC, in zagotavlja zanesljivo delovanje v celotnem procesu izdelave polprevodnikov.

Ključne lastnosti:

1. Vrhunska toplotna prevodnostGrafitni suceptor, prevlečen s SiC, ima izjemno toplotno prevodnost, ki je ključnega pomena za učinkovito odvajanje toplote med proizvodnjo polprevodnikov. Ta lastnost minimizira toplotne gradiente na površini rezine, kar spodbuja enakomerno porazdelitev temperature, ki je bistvenega pomena za doseganje želenih lastnosti polprevodnika.

2. Robustna odpornost na kemične in toplotne udarcePrevleka SiC zagotavlja izjemno zaščito pred kemično korozijo in toplotnim šokom ter ohranja celovitost grafitnega suceptorja tudi v težkih okoljih obdelave. Ta povečana vzdržljivost skrajša čas izpadov in podaljša življenjsko dobo, kar prispeva k večji produktivnosti in stroškovni učinkovitosti v obratih za proizvodnjo polprevodnikov.

3. Prilagoditev za posebne potrebeNaše grafitne prijemnike, prevlečene s SiC, je mogoče prilagoditi posebnim zahtevam in željam. Ponujamo vrsto možnosti prilagajanja, vključno s prilagoditvami velikosti in variacijami v debelini premaza, da zagotovimo prilagodljivost načrtovanja in optimizirano zmogljivost za različne aplikacije in procesne parametre.

Aplikacije:

AplikacijePrevleke Semicera SiC se uporabljajo v različnih fazah proizvodnje polprevodnikov, vključno z:
1. - Izdelava LED čipov
2. -Proizvodnja polisilicija
3. -Rast polprevodniških kristalov
4. -Silicij in SiC epitaksija
5. - Toplotna oksidacija in difuzija (TO&D)