Grafitni nosilci rezin, prevlečeni s silicijevim karbidom

1. Izjemna toplotna stabilnost in prevodnostNaši nosilci za rezine, prevlečeni s SiC, se odlikujejo po ohranjanju stabilnih in doslednih temperatur, ki so ključne za CVD procese. To zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote, kar vodi do vrhunske tanke plasti in kakovosti prevleke.

2. Natančna izdelavaVsak nosilec rezin je izdelan v skladu z natančnimi standardi, ki zagotavljajo enakomerno debelino in gladko površino. Ta natančnost je bistvenega pomena za doseganje doslednih stopenj nanašanja in lastnosti filma na več rezinah, kar izboljša splošno kakovost izdelave.

3. Pregrada za nečistočePrevleka SiC deluje kot neprepustna pregrada, ki preprečuje difuzijo nečistoč iz suceptorja v rezino. To zmanjša tveganje kontaminacije, kar je ključnega pomena za proizvodnjo polprevodniških naprav visoke čistosti.

4. Trajnost in stroškovna učinkovitostRobustna konstrukcija in prevleka iz SiC povečujeta vzdržljivost nosilcev rezin in zmanjšujeta pogostost zamenjav suceptorjev. To vodi do nižjih stroškov vzdrževanja in zmanjšanih izpadov, kar poveča učinkovitost proizvodnih postopkov polprevodnikov.

5. Možnosti prilagajanjaNosilce za rezine Semicorex s prevleko SiC je mogoče prilagoditi tako, da ustrezajo posebnim zahtevam postopka, vključno z različnimi velikostmi, oblikami in debelino prevleke. Ta prilagodljivost omogoča optimizacijo suceptorja, da ustreza edinstvenim zahtevam različnih postopkov izdelave polprevodnikov. Možnosti prilagajanja omogočajo razvoj zasnov suceptorjev, prilagojenih specializiranim aplikacijam, kot je proizvodnja velikih količin ali raziskave in razvoj, kar zagotavlja optimalno delovanje za posebne primere uporabe.