Pokrovi, prevlečeni s tantalovim karbidom

Predstavljena slika pokrovov, prevlečenih s tantalovim karbidom

Kratek opis:

S pojavom 8-palčnih rezin iz silicijevega karbida (SiC) so zahteve za različne polprevodniške postopke postale vse strožje, zlasti za postopke epitaksije, kjer lahko temperature presežejo 2000 stopinj Celzija. Tradicionalni suceptorski materiali, kot je grafit, prevlečen s silicijevim karbidom, pri teh visokih temperaturah ponavadi sublimirajo, kar moti postopek epitaksije. Vendar CVD tantalov karbid (TaC) učinkovito rešuje to težavo, saj prenese temperature do 2300 stopinj Celzija in ponuja daljšo življenjsko dobo. Kontakt Semicera's Pokrovi, prevlečeni s tantalovim karbidomda raziščete več o naših naprednih rešitvah.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Semicera zagotavlja specializirane prevleke iz tantalovega karbida (TaC) za različne komponente in nosilce.Vodilni postopek nanosa Semicera omogoča, da prevleke iz tantalovega karbida (TaC) dosežejo visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično toleranco, s čimer izboljšajo kakovost izdelkov kristalov SIC/GAN in plasti EPI (TaC suceptor prevlečen z grafitom) in podaljšanje življenjske dobe ključnih komponent reaktorja. Uporaba prevleke TaC iz tantalovega karbida je namenjena reševanju problema robov in izboljšanju kakovosti rasti kristalov, Semicera pa je prelomno rešila tehnologijo prevleke iz tantalovega karbida (CVD) in dosegla mednarodno napredno raven.

S pojavom 8-palčnih rezin iz silicijevega karbida (SiC) so zahteve za različne polprevodniške postopke postale vse strožje, zlasti za postopke epitaksije, kjer lahko temperature presežejo 2000 stopinj Celzija. Tradicionalni suceptorski materiali, kot je grafit, prevlečen s silicijevim karbidom, pri teh visokih temperaturah ponavadi sublimirajo, kar moti postopek epitaksije. Vendar CVD tantalov karbid (TaC) učinkovito rešuje to težavo, saj prenese temperature do 2300 stopinj Celzija in ponuja daljšo življenjsko dobo. Če želite izvedeti več o naših naprednih rešitvah, se obrnite na Semicera's Tantalum Carbide Coated Lids.

Semicera je po letih razvoja osvojila tehnologijoCVD TaCs skupnimi močmi oddelka za raziskave in razvoj. Napake se zlahka pojavijo v procesu rasti SiC rezin, vendar po uporabiTaC, razlika je bistvena. Spodaj je primerjava rezin z in brez TaC, kot tudi delov Simicera za rast monokristalov.

Visoko učinkovita prevleka iz tantalovega karbida_ izboljša učinkovitost industrijske proizvodnje in zmanjša stroške vzdrževanja Predstavljena slika

Tac del za rast monokristala

Prevleka iz tantalovega karbida proti obrabi_ Ščiti opremo pred obrabo in korozijo Prikazana slika

Grafit s TaC prevlečenim obročem

z in brez TaC

Po uporabi TaC (desno)

Še več, Semicera'sIzdelki, prevlečeni s TaCimajo daljšo življenjsko dobo in večjo odpornost na visoke temperature v primerjavi zSiC prevleke.Laboratorijske meritve so pokazale, da našTaC premazilahko dosledno deluje pri temperaturah do 2300 stopinj Celzija daljša obdobja. Spodaj je nekaj primerov naših vzorcev: