Postopek s prevleko iz SiC za grafitne nosilce s prevleko iz SiC

Kratek opis:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. je vodilni dobavitelj napredne polprevodniške keramike. Naši glavni proizvodi vključujejo: jedkane plošče iz silicijevega karbida, prikolice za čolne iz silicijevega karbida, ladje z rezinami iz silicijevega karbida (PV in polprevodniki), cevi za peči iz silicijevega karbida, konzolne lopatice iz silicijevega karbida, vpenjalne glave iz silicijevega karbida, nosilce iz silicijevega karbida, kot tudi CVD SiC prevleke in TaC premazi.
Izdelki se večinoma uporabljajo v polprevodniški in fotovoltaični industriji, kot so rast kristalov, epitaksija, jedkanje, pakiranje, premazovanje in oprema za difuzijske peči.

 

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Opis

Pri nanašanju vzdržujemo zelo stroga tolerancaSiC prevleka, z uporabo visoko natančne strojne obdelave za zagotovitev enotnega profila suceptorja. Proizvajamo tudi materiale z idealnimi lastnostmi električnega upora za uporabo v induktivno ogrevanih sistemih. Vse končne komponente so opremljene s certifikatom o čistosti in dimenzijski skladnosti.

Naše podjetje zagotavljaSiC prevlekaprocesne storitve z metodo CVD na površini grafita, keramike in drugih materialov, tako da posebni plini, ki vsebujejo ogljik in silicij, reagirajo pri visoki temperaturi, da dobijo molekule SiC visoke čistosti, molekule, ki se nanesejo na površino prevlečenih materialov in tvorijo zaščitno plast SIC. Oblikovani SIC je trdno vezan na grafitno osnovo, kar daje grafitni osnovi posebne lastnosti, zaradi česar je površina grafita kompaktna, brez poroznosti, odporna na visoke temperature, odpornost proti koroziji in oksidaciji.

gf (1)

Postopek CVD zagotavlja izjemno visoko čistost in teoretično gostotoSiC prevlekabrez poroznosti. Še več, ker je silicijev karbid zelo trd, ga je mogoče polirati do zrcalne površine.CVD prevleka iz silicijevega karbida (SiC).prinaša več prednosti, vključno z izjemno čisto površino in izjemno vzdržljivostjo proti obrabi. Ker imajo prevlečeni izdelki odlično zmogljivost v visokem vakuumu in visokih temperaturah, so idealni za uporabo v industriji polprevodnikov in drugih ultra čistih okoljih. Ponujamo tudi izdelke iz pirolitičnega grafita (PG).

 

Glavne značilnosti

1. Odpornost proti oksidaciji pri visoki temperaturi:
odpornost proti oksidaciji je še vedno zelo dobra, ko temperatura doseže 1600 C.
2. Visoka čistost: narejeno s kemičnim naparjevanjem v pogojih kloriranja pri visoki temperaturi.
3. Odpornost proti eroziji: visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
4. Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.

Glavna-05

Glavna-04

Glavna-03

Glavne specifikacije prevlek CVD-SIC

SiC-CVD
Gostota (g/cc) 3.21
Upogibna trdnost (Mpa) 470
Toplotno raztezanje (10-6/K) 4
Toplotna prevodnost (W/mK) 300

Aplikacija

Prevleka iz silicijevega karbida CVD je bila že uporabljena v industriji polprevodnikov, kot so pladenj MOCVD, RTP in komora za jedkanje oksida, saj ima silicijev nitrid veliko odpornost na toplotne udarce in lahko prenese visoko energijsko plazmo.
- Silicijev karbid se pogosto uporablja v polprevodnikih in premazih.

Aplikacija

Zmogljivost dobave:
10000 kosov/kosov na mesec
Pakiranje in dostava:
Pakiranje: standardno in močno pakiranje
Poli vrečka + Škatla + Škatla + Paleta
vrata:
Ningbo/Šenžen/Šanghaj
Čas izvedbe:

Količina (kosov) 1 – 1000 > 1000
Ocena Čas (dnevi) 30 Za pogajanja
Delovno mesto Semicera
Delovno mesto Semicera 2
Stroj za opremo
CNN obdelava, kemično čiščenje, CVD premaz
Naše storitve

  • Prejšnja:
  • Naprej: