SiC prevlečen grafitni grelec za MOCVD K465i, epitaksialni grafitni grelec za polprevodniško opremo

Kratek opis:

Semicera EnergyTechnology Co., Ltd.je vodilni dobavitelj, specializiran za rezine in napredne polprevodniške potrošne materiale.Predani smo zagotavljanju visokokakovostnih, zanesljivih in inovativnih izdelkov za proizvodnjo polprevodnikov,fotovoltaična industrijain druga sorodna področja.

Naša linija izdelkov vključuje grafitne izdelke s prevleko iz SiC/TaC in keramične izdelke, ki zajemajo različne materiale, kot so silicijev karbid, silicijev nitrid in aluminijev oksid itd.

Kot zaupanja vreden dobavitelj razumemo pomen potrošnega materiala v proizvodnem procesu in smo predani zagotavljanju izdelkov, ki izpolnjujejo najvišje standarde kakovosti, da bi izpolnili potrebe naših strank.


Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Glavne značilnosti grafitnega grelnika:

1. enakomernost ogrevalne strukture.

2. dobra električna prevodnost in visoka električna obremenitev.

3. odpornost proti koroziji.

4. neoksidiranost.

5. visoka kemična čistost.

6. visoka mehanska trdnost.

Prednost je energetska učinkovitost, visoka vrednost in malo vzdrževanja. Izdelamo lahko antioksidacijski in dolgo življenjsko dobo grafitnega lončka, grafitnega kalupa in vseh delov grafitnega grelnika.

Grafitni grelec (1) (1)

Glavni parametri grafitnega grelnika

Tehnična specifikacija

VET-M3

Nasipna gostota (g/cm3)

≥1,85

Vsebnost pepela (PPM)

≤500

Trdota po Shoru

≥45

Specifična upornost (μ.Ω.m)

≤12

Upogibna trdnost (Mpa)

≥40

Tlačna trdnost (Mpa)

≥70

maks. Velikost zrn (μm)

≤43

Koeficient toplotnega raztezanja Mm/°C

≤4,4*10-6

Delovno mesto Semicera
Delovno mesto Semicera 2
Stroj za opremo
CNN obdelava, kemično čiščenje, CVD premaz
Semicera Ware House
Naše storitve

  • Prejšnja:
  • Naprej: