SiC prevlečni nosilci za jedkanje polprevodnikov

Kratek opis:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. je vodilni dobavitelj napredne polprevodniške keramike. Naši glavni proizvodi vključujejo: jedkane plošče iz silicijevega karbida, prikolice za čolne iz silicijevega karbida, ladje z rezinami iz silicijevega karbida (PV in polprevodniki), cevi za peči iz silicijevega karbida, konzolne lopatice iz silicijevega karbida, vpenjalne glave iz silicijevega karbida, nosilce iz silicijevega karbida, kot tudi CVD SiC prevleke in TaC premazi.

Izdelki se večinoma uporabljajo v polprevodniški in fotovoltaični industriji, kot so rast kristalov, epitaksija, jedkanje, pakiranje, premazovanje in oprema za difuzijske peči.

 

 


Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Opis

Naše podjetje nudi storitve postopka nanosa SiC prevleke s CVD metodo na površino grafita, keramike in drugih materialov, tako da posebni plini, ki vsebujejo ogljik in silicij, reagirajo pri visoki temperaturi, da dobimo molekule SiC visoke čistosti, molekule, ki se nanesejo na površino prevlečenih materialov, tvori zaščitno plast SIC.

Glavne značilnosti

1. Odpornost proti oksidaciji pri visoki temperaturi:
odpornost proti oksidaciji je še vedno zelo dobra, ko temperatura doseže 1600 C.
2. Visoka čistost: narejeno s kemičnim naparjevanjem v pogojih kloriranja pri visoki temperaturi.
3. Odpornost proti eroziji: visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
4. Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC

SiC-CVD lastnosti

Kristalna struktura FCC β faza
Gostota g/cm³ 3.21
Trdota Trdota po Vickersu 2500
Velikost zrn μm 2~10
Kemijska čistost % 99,99995
Toplotna zmogljivost J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura sublimacije 2700
Feleksuralna moč MPa (RT 4-točkovno) 415
Youngov modul Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) 430
Toplotna ekspanzija (CTE) 10-6K-1 4.5
Toplotna prevodnost (W/mK) 300
Delovno mesto Semicera
Delovno mesto Semicera 2
Stroj za opremo
CNN obdelava, kemično čiščenje, CVD premaz
Naše storitve

  • Prejšnja:
  • Naprej: