PFA kaseta

Kratek opis:

PFA kaseta– Doživite neprimerljivo kemično odpornost in vzdržljivost s Semicerino PFA kaseto, idealno rešitvijo za varno in učinkovito rokovanje z rezinami v proizvodnji polprevodnikov.


Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Semiceraz veseljem ponujaPFA kaseta, vrhunska izbira za rokovanje z rezinami v okoljih, kjer sta kemična odpornost in vzdržljivost najpomembnejši. Ta kaseta, izdelana iz perfluoroalkoksi (PFA) materiala visoke čistosti, je zasnovana tako, da prenese najzahtevnejše pogoje pri izdelavi polprevodnikov, kar zagotavlja varnost in celovitost vaših rezin.

Kemična odpornost brez primereThePFA kasetaje zasnovan tako, da zagotavlja vrhunsko odpornost na široko paleto kemikalij, zaradi česar je odlična izbira za procese, ki vključujejo agresivne kisline, topila in druge močne kemikalije. Ta močna kemična odpornost zagotavlja, da kaseta ostane nepoškodovana in funkcionalna tudi v najbolj korozivnih okoljih, s čimer podaljša njeno življenjsko dobo in zmanjša potrebo po pogostih menjavah.

Gradnja visoke čistostiSemicera jePFA kasetaje izdelan iz izjemno čistega PFA materiala, ki je ključnega pomena pri preprečevanju kontaminacije med obdelavo rezin. Ta konstrukcija visoke čistosti zmanjša tveganje za nastajanje delcev in kemično izpiranje, kar zagotavlja, da so vaše rezine zaščitene pred nečistočami, ki bi lahko ogrozile njihovo kakovost.

Izboljšana vzdržljivost in zmogljivostZasnovan za vzdržljivost,PFA kasetaohranja svojo strukturno celovitost pri ekstremnih temperaturah in strogih pogojih obdelave. Ne glede na to, ali je izpostavljena visokim temperaturam ali izpostavljena večkratnemu ravnanju, ta kaseta ohrani svojo obliko in zmogljivost ter nudi dolgoročno zanesljivost v zahtevnih proizvodnih okoljih.

Natančno inženirstvo za varno rokovanjeTheSemicera PFA kasetaima natančen inženiring, ki zagotavlja varno in stabilno rokovanje z rezinami. Vsaka reža je skrbno zasnovana tako, da varno drži rezine na mestu in preprečuje kakršno koli premikanje ali premikanje, ki bi lahko povzročilo poškodbe. Ta natančna izdelava podpira dosledno in natančno namestitev rezin, kar prispeva k splošni učinkovitosti procesa.

Vsestranska uporaba v različnih procesihZahvaljujoč vrhunskim materialnim lastnostim,PFA kasetaje dovolj vsestranski za uporabo v različnih fazah izdelave polprevodnikov. Še posebej je primeren za mokro jedkanje, nanašanje s kemično paro (CVD) in druge postopke, ki vključujejo ostra kemična okolja. Zaradi svoje prilagodljivosti je bistveno orodje pri ohranjanju integritete procesa in kakovosti rezin.

Zavezanost kakovosti in inovativnostiPri Semiceri smo zavezani zagotavljanju izdelkov, ki ustrezajo najvišjim industrijskim standardom. ThePFA kasetaponazarja to zavezo, saj ponuja zanesljivo rešitev, ki se neopazno integrira v vaše proizvodne procese. Vsaka kaseta je podvržena strogemu nadzoru kakovosti, da zagotovimo, da izpolnjuje naša stroga merila učinkovitosti, kar zagotavlja odličnost, ki jo pričakujete od Semicere.

Predmeti

Proizvodnja

Raziskovanje

Dummy

Parametri kristala

Politip

4H

Napaka orientacije površine

<11-20 >4±0,15°

Električni parametri

Dopant

n-vrsta dušika

Upornost

0,015-0,025 ohm·cm

Mehanski parametri

Premer

150,0±0,2 mm

Debelina

350±25 μm

Primarna ravna orientacija

[1-100]±5°

Primarna ravna dolžina

47,5±1,5 mm

Sekundarno stanovanje

Noben

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5 mm * 5 mm)

≤5 μm (5 mm * 5 mm)

≤10 μm (5 mm * 5 mm)

Priklon

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45 μm ~ 45 μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Sprednja (Si-face) hrapavost (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktura

Gostota mikrocevi

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Kovinske nečistoče

≤5E10atomov/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Sprednja kakovost

Spredaj

Si

Površinska obdelava

Si-face CMP

delci

≤60ea/vafelj (velikost≥0,3μm)

NA

praske

≤5ea/mm. Kumulativna dolžina ≤premera

Kumulativna dolžina≤2*Premer

NA

Pomarančna lupina/jamice/madeži/braze/razpoke/kontaminacija

Noben

NA

Robni odrezki/vdolbine/zlomi/šestokotne plošče

Noben

Politipska območja

Noben

Kumulativna površina≤20%

Kumulativna površina≤30%

Sprednje lasersko označevanje

Noben

Kakovost hrbta

Zadnji zaključek

C-obraz CMP

praske

≤5ea/mm, kumulativna dolžina≤2*premer

NA

Napake na zadnji strani (ostružki robov/vdolbine)

Noben

Hrapavost hrbta

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Lasersko označevanje hrbta

1 mm (od zgornjega roba)

Edge

Edge

Posnemanje

Pakiranje

Pakiranje

Epi-ready z vakuumsko embalažo

Embalaža kaset z več rezinami

*Opombe: "NA" pomeni, da ni zahteve. Elementi, ki niso omenjeni, se lahko nanašajo na SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC rezine

  • Prejšnja:
  • Naprej: