Semiceraz veseljem ponujaPFA kaseta, vrhunska izbira za rokovanje z rezinami v okoljih, kjer sta kemična odpornost in vzdržljivost najpomembnejši. Ta kaseta, izdelana iz perfluoroalkoksi (PFA) materiala visoke čistosti, je zasnovana tako, da prenese najzahtevnejše pogoje pri izdelavi polprevodnikov, kar zagotavlja varnost in celovitost vaših rezin.
Kemična odpornost brez primereThePFA kasetaje zasnovan tako, da zagotavlja vrhunsko odpornost na široko paleto kemikalij, zaradi česar je odlična izbira za procese, ki vključujejo agresivne kisline, topila in druge močne kemikalije. Ta robustna kemična odpornost zagotavlja, da kaseta ostane nepoškodovana in funkcionalna tudi v najbolj korozivnih okoljih, s čimer podaljša njeno življenjsko dobo in zmanjša potrebo po pogostih menjavah.
Gradnja visoke čistostiSemicera jePFA kasetaje izdelan iz izjemno čistega PFA materiala, ki je ključnega pomena pri preprečevanju kontaminacije med obdelavo rezin. Ta konstrukcija visoke čistosti zmanjša tveganje za nastajanje delcev in kemično izpiranje, kar zagotavlja, da so vaše rezine zaščitene pred nečistočami, ki bi lahko ogrozile njihovo kakovost.
Izboljšana vzdržljivost in zmogljivostZasnovan za vzdržljivost,PFA kasetaohranja svojo strukturno celovitost pri ekstremnih temperaturah in strogih pogojih obdelave. Ne glede na to, ali je izpostavljena visokim temperaturam ali izpostavljena večkratnemu ravnanju, ta kaseta ohrani svojo obliko in zmogljivost ter nudi dolgoročno zanesljivost v zahtevnih proizvodnih okoljih.
Natančno inženirstvo za varno rokovanjeTheSemicera PFA kasetaima natančen inženiring, ki zagotavlja varno in stabilno rokovanje z rezinami. Vsaka reža je skrbno zasnovana tako, da varno drži rezine na mestu in preprečuje kakršno koli premikanje ali premikanje, ki bi lahko povzročilo poškodbe. Ta natančna izdelava podpira dosledno in natančno namestitev rezin, kar prispeva k splošni učinkovitosti procesa.
Vsestranska uporaba v različnih procesihZahvaljujoč vrhunskim materialnim lastnostim,PFA kasetaje dovolj vsestranski za uporabo v različnih fazah izdelave polprevodnikov. Še posebej je primeren za mokro jedkanje, nanašanje s kemično paro (CVD) in druge postopke, ki vključujejo ostra kemična okolja. Zaradi svoje prilagodljivosti je bistveno orodje pri ohranjanju integritete procesa in kakovosti rezin.
Zavezanost kakovosti in inovativnostiPri Semiceri smo zavezani zagotavljanju izdelkov, ki ustrezajo najvišjim industrijskim standardom. ThePFA kasetaponazarja to zavezo, saj ponuja zanesljivo rešitev, ki se neopazno integrira v vaše proizvodne procese. Vsaka kaseta je podvržena strogemu nadzoru kakovosti, da zagotovimo, da izpolnjuje naša stroga merila učinkovitosti, kar zagotavlja odličnost, ki jo pričakujete od Semicere.
Predmeti | Proizvodnja | Raziskovanje | Dummy |
Parametri kristala | |||
Politip | 4H | ||
Napaka orientacije površine | <11-20 >4±0,15° | ||
Električni parametri | |||
Dopant | n-vrsta dušika | ||
Upornost | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Mehanski parametri | |||
Premer | 150,0±0,2 mm | ||
Debelina | 350±25 μm | ||
Primarna ravna orientacija | [1-100]±5° | ||
Primarna ravna dolžina | 47,5±1,5 mm | ||
Sekundarno stanovanje | Noben | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
Priklon | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45 μm ~ 45 μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Sprednja (Si-face) hrapavost (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Struktura | |||
Gostota mikrocevi | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Kovinske nečistoče | ≤5E10atomov/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Sprednja kakovost | |||
Spredaj | Si | ||
Površinska obdelava | Si-face CMP | ||
delci | ≤60ea/vafelj (velikost≥0,3μm) | NA | |
praske | ≤5ea/mm. Kumulativna dolžina ≤ premera | Kumulativna dolžina≤2*Premer | NA |
Pomarančna lupina/koščice/madeži/braze/razpoke/kontaminacija | Noben | NA | |
Robni odrezki/vdolbine/zlomi/šestokotne plošče | Noben | ||
Politipska območja | Noben | Kumulativna površina≤20% | Kumulativna površina≤30% |
Sprednje lasersko označevanje | Noben | ||
Kakovost hrbta | |||
Zadnji zaključek | C-obraz CMP | ||
praske | ≤5ea/mm, kumulativna dolžina≤2*premer | NA | |
Napake na zadnji strani (ostružki robov/vdolbine) | Noben | ||
Hrapavost hrbta | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Lasersko označevanje hrbta | 1 mm (od zgornjega roba) | ||
Edge | |||
Edge | Posnemanje | ||
Pakiranje | |||
Pakiranje | Epi-ready z vakuumsko embalažo Embalaža kaset z več rezinami | ||
*Opombe: "NA" pomeni, da ni zahteve. Elementi, ki niso omenjeni, se lahko nanašajo na SEMI-STD. |