Uvedba nosilca rezin
KATAGORIJA IZDELKOV
▶Nosilni sistem rezin za proces PECVD in TALOX
• Grafitni čoln PECVD & TALOX (M4~M12)
• Vertikalni SM-čoln (M4, M6)
• Grafitni del za vsadek in prho (M4~M6)
• C/C pladenj in keramična prevleka
• Kovinski pladenj RIE in keramična prevleka
• Vakuumsko tesnjenje: O-obroč & SQ-obroč
▶Postopek prenosa teksturiranja in mokrega jedkanja
• LSC H-nosilec ali kaseta (M4~M12)
• LSC V-nosilec ali kaseta (M4~M12)
• ASC nosilec ali kaseta (M4, M6)
• W/F nosilec in škatla za shranjevanje (M4~M12)
• Serija transportnih koles (valjčkov).
▶Nosilec sončnih celic in kovinski nosilec
• TRC nosilec ali kaseta (M4~M12)
• Nabojnik (s PASOM)
GRAFITNI ČOLN (H-tip)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFITNI ČOLN (H-tip)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFITNI ČOLN (H-tip)
23P7-308CT (W/F M4~M12)
GRAFITNI ČOLN (H-tip)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFITNI ČOLN (H-tip)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF NOSILEC IN ŠKATLA ZA SHRANJEVANJE (~M12)
C/C PLADENJ ali NOSILEC (M4~M10)
C/C PLADENJ ali NOSILEC (M4~M10)
VERTIKALNI ČOLN (SM) M6
LSC-H-NOSILO (~M12)
LSC-V-NOSILO (~M12)
ASC NOSILEC (~M6)
TRC NOSILEC (~M12)
TRC NOSILEC (~M12)
GRAFITNI ČOLN (M12)
Nosilni sistem rezin za postopek PECVD
▶ GRAFITNI ČOLN (CT-Designed) M10/M12 Process
• POSEBEN DIZAJNSKI KONCEPT
▶ GRAFITNI ČOLN (CT-Designed) M4/M6 Process
▶ Dodatni deli ČOLNA
▶ VERTIKALNI ČOLNIČKA-161,7mm OBLATA
▶ VERTIKALNI ČOLN-166mm OBLATA
▶ VERTIKALNI ČOLN-161,7mm, 166mm OBLATA
Nosilec sončnih celic in kovinski nosilec TRC
TIP: Avtomatizacija
VELIKOST VAFELJA: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
UPORABA: Prenos (kaseta)
KAPACITETA: 100 listov
RAZMER: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
DIMENZIJE: Približno 559×220×220MM
Približno 712 × 260 × 260 mm
PREDNOST: Vzdušje
MATERIAL: PLAMEN, STRANSKA PALICA-aluminij (eloksirano)
STRANSKA PLOŠČA-POM (antistatična)
Pokrov spodnje palice-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-KOVINSKI NOSILEC (U'SER LINE)
TRC-KOVINSKI NOSILEC (U'SER LINE)
TRC-KOVINSKI NOSILEC (U'SER LINE)
TUŠ PLOŠČA & IMPLANTAT, NOSILEC
