Vsi tanki filmi, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov, imajo odpornost, odpornost filma pa neposredno vpliva na delovanje naprave. Običajno ne merimo absolutne odpornosti folije, ampak uporabimo odpornost plošče, da jo označimo.
Kaj sta upornost pločevine in prostorninska upornost?
Volumski upor, znan tudi kot prostorninski upor, je inherentna lastnost materiala, ki označuje, koliko material ovira pretok električnega toka. Običajno uporabljen simbol ρ predstavlja enoto Ω.
Odpornost na pločevino, znana tudi kot upornost na ploščo, angleško ime je odpornost na ploščo, ki se nanaša na vrednost odpornosti filma na enoto površine. Običajno uporabljeni simboli Rs ali ρs za izražanje, enota je Ω/sq ali Ω/□
Razmerje med obema je: upornost plošče = prostorninska upornost/debelina filma, to je Rs =ρ/t
Zakaj meriti odpornost pločevine?
Merjenje absolutne odpornosti filma zahteva natančno poznavanje geometrijskih dimenzij filma (dolžina, širina, debelina), ki ima veliko spremenljivk in je zelo zapleteno za zelo tanke ali nepravilno oblikovane filme. Odpornost pločevine je povezana samo z debelino filma in jo je mogoče hitro in neposredno preizkusiti brez zapletenih izračunov velikosti.
Pri katerih folijah je treba izmeriti odpornost plošče?
Na splošno je treba pri prevodnih in polprevodniških filmih izmeriti kvadratni upor, medtem ko pri izolacijskih filmih ni treba meriti.
Pri polprevodniškem dopiranju se meri tudi ploščna odpornost silicija.
Kako izmeriti kvadratni upor?
Metoda štirih sond se običajno uporablja v industriji. Metoda štirih sond lahko meri kvadratni upor v razponu od 1E-3 do 1E+9Ω/sq. Metoda štirih sond se lahko izogne napakam pri merjenju zaradi kontaktnega upora med sondo in vzorcem.
Metode merjenja:
1) Na površino vzorca postavite štiri linearno razporejene sonde.
2) Uporabite konstanten tok med dvema zunanjima sondama.
3) Določite upor tako, da izmerite potencialno razliko med obema notranjima sondama
RS : odpornost na pločevino
ΔV: Sprememba napetosti, izmerjena med notranjimi sondami
I : Tok med zunanjimi sondami
Čas objave: 29. marec 2024