Izostatični grafitni čoln PECVD

Predstavljena slika izostatičnega grafitnega čolna PECVD

Kratek opis:

Izostatični PECVD grafitni čoln se pogosto uporablja v različnih povezavah proizvodnje polprevodnikov, kot je nanašanje polisilicijevega filma, nanašanje oksidnega filma, nanašanje nitridnega filma itd. Zaradi njegove odlične zmogljivosti je idealen nosilec rezin v procesu PECVD.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Izostatični grafitni čoln SEMICERA PECVD je grafitni izdelek visoke čistosti z visoko gostoto, zasnovan za podporo rezinam v procesu PECVD (plazemsko izboljšano kemično naparjevanje). SEMICERA uporablja napredno tehnologijo izostatičnega stiskanja, da zagotovi, da ima grafitni čoln odlično odpornost na visoke temperature, odpornost proti koroziji, dimenzijsko stabilnost in dobro toplotno prevodnost, kar je nepogrešljiv potrošni material v procesu izdelave polprevodnikov.

SEMICERA izostatični PECVD grafitni čoln ima naslednje prednosti:

▪ Visoka čistost: grafitni material je visoke čistosti in nizke vsebnosti nečistoč, da se prepreči kontaminacija površine rezin.

▪ Visoka gostota: Visoka gostota, visoka mehanska trdnost, lahko prenese visoko temperaturo in visoko vakuumsko okolje.

▪ Dobra dimenzijska stabilnost: majhna dimenzijska sprememba pri visoki temperaturi za zagotovitev stabilnosti procesa.

▪ Odlična toplotna prevodnost: Učinkovit prenos toplote za preprečevanje pregrevanja rezin.

▪ Močna odpornost proti koroziji: Odporen proti eroziji zaradi različnih jedkih plinov in plazme.

Parameter uspešnosti	semicera	SGL R6510	Parameter uspešnosti
Nasipna gostota (g/cm3)	1.91	1.83	1,85
Upogibna trdnost (MPa)	63	60	49
Tlačna trdnost (MPa)	135	130	103
Trdota po Shoru (HS)	70	64	60
Koeficient toplotnega raztezanja（10-6/K）	85	105	130
Koeficient toplotnega raztezanja（10-6/K）	5,85	4.2	5.0
Upornost (μΩm)	11-13	13	10

Prednosti izbire nas:
▪ Izbira materiala: za zagotavljanje kakovosti izdelkov se uporabljajo grafitni materiali visoke čistosti.
▪ Tehnologija predelave: Izostatično stiskanje se uporablja za zagotavljanje gostote in enakomernosti izdelka.
▪ Prilagoditev velikosti: grafitne čolne različnih velikosti in oblik je mogoče prilagoditi glede na potrebe strank.
▪ Površinska obdelava: Na voljo so različni načini površinske obdelave, kot je prevleka s silicijevim karbidom, borovim nitridom itd., za izpolnitev različnih procesnih zahtev.