SiC nosilec/susceptor visoke čistosti

Kratek opis:

Nosilni disk iz silicijevega karbida je znan tudi kot pladenj SIC, disk za jedkanje iz silicijevega karbida, disk za jedkanje ICP. Pladenj iz silicijevega karbida za LED jedkanje (SiC tray) φ600mm je poseben pripomoček za globoko jedkanje silicija (ICP stroj za jedkanje).

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Opis

Keramika iz silicijevega karbida ima odlične mehanske lastnosti pri sobni temperaturi, kot so visoka trdnost, visoka trdota, visok modul elastičnosti itd., ima tudi odlično visokotemperaturno stabilnost, kot je visoka toplotna prevodnost, nizek koeficient toplotnega raztezanja ter dobro specifično togost in optično zmogljivost obdelave.
Posebej so primerni za izdelavo preciznih keramičnih delov za opremo integriranih vezij, kot so stroji za litografijo, ki se večinoma uporabljajo za izdelavo SiC nosilca/susceptorja, SiC rezinastega čolna, sesalne plošče, plošče za vodno hlajenje, natančnega merilnega reflektorja, rešetke in drugih keramičnih strukturnih delov.

nosilec2

nosilec3

nosilec4

Prednosti

Odpornost na visoke temperature: normalna uporaba pri 1800 ℃
Visoka toplotna prevodnost: enakovredna grafitnemu materialu
Visoka trdota: trdota je druga za diamantom, borovim nitridom
Odpornost proti koroziji: močna kislina in alkalije ne povzročajo korozije, odpornost proti koroziji je boljša od volframovega karbida in aluminijevega oksida
Majhna teža: nizka gostota, blizu aluminija
Brez deformacij: nizek koeficient toplotnega raztezanja
Odpornost na toplotne udarce: prenese močne temperaturne spremembe, se upira toplotnim šokom in ima stabilno delovanje
Nosilec iz silicijevega karbida, kot je nosilec za jedkanje sic, susceptor za jedkanje ICP, se pogosto uporablja v polprevodniških CVD, vakuumskem razprševanju itd. Strankam lahko ponudimo prilagojene nosilce rezin iz silicija in materialov iz silicijevega karbida za različne aplikacije.

Prednosti

Lastnina	Vrednost	Metoda
Gostota	3,21 g/cc	Pomivalno korito in dimenzija
Specifična toplota	0,66 J/g °K	Impulzna laserska bliskavica
Upogibna trdnost	450 MPa560 MPa	4-točkovni upogib, RT4-točkovni upogib, 1300°
Zlomna žilavost	2,94 MPa m1/2	Mikroindentacija
Trdota	2800	Vicker's, obremenitev 500 g
Elastični modul Youngov modul	450 GPa 430 GPa	4 pt krivina, RT4 pt krivina, 1300 °C
Velikost zrn	2 – 10 µm	SEM

Profil podjetja

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. je vodilni dobavitelj napredne polprevodniške keramike in edini proizvajalec na Kitajskem, ki lahko hkrati zagotovi keramiko iz silicijevega karbida visoke čistosti (zlasti rekristaliziran SiC) in CVD SiC prevleko. Poleg tega je naše podjetje zavezano tudi področjem keramike, kot so aluminijev oksid, aluminijev nitrid, cirkonijev oksid in silicijev nitrid itd.

Naši glavni proizvodi vključujejo: disk za jedkanje iz silicijevega karbida, vleko za čoln iz silicijevega karbida, čoln za rezine iz silicijevega karbida (fotovoltaika in polprevodnik), cev za peč iz silicijevega karbida, konzolno lopatico iz silicijevega karbida, vpenjalne glave iz silicijevega karbida, nosilec iz silicijevega karbida, kot tudi CVD SiC prevleko in TaC premazovanje. Izdelki, ki se večinoma uporabljajo v polprevodniški in fotovoltaični industriji, kot so oprema za rast kristalov, epitaksija, jedkanje, pakiranje, premazovanje in difuzijske peči itd.
približno (2)