Visoko čist porozni sod, prevlečen s tantalovim karbidom

Kratek opis:

Porozni sod Semicera visoke čistosti s prevleko iz tantalovega karbida je posebej zasnovan za peči za rast kristalov iz silicijevega karbida (SiC). Ta cev s prevleko iz tantalovega karbida visoke čistosti in porozno strukturo zagotavlja izjemno toplotno stabilnost in odpornost proti kemični koroziji. Semicerina napredna tehnologija prevleke zagotavlja dolgotrajno delovanje in učinkovitost v procesih rasti kristalov SiC, zaradi česar je idealna izbira za zahtevne polprevodniške aplikacije.


Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Prevlečen s poroznim tantalovim karbidomcev je tantalov karbid kot glavni premazni material, tantalov karbid ima odlično odpornost proti koroziji, odpornost proti obrabi in visoko temperaturno stabilnost. Lahko učinkovito zaščiti osnovni material pred kemično erozijo in visoko temperaturno atmosfero. Osnovni material ima običajno značilnosti visoke temperaturne odpornosti in odpornosti proti koroziji. Zagotavlja lahko dobro mehansko trdnost in kemično stabilnost ter hkrati služi kot podporna osnovaprevleka iz tantalovega karbida.

 

Semicera zagotavlja specializirane prevleke iz tantalovega karbida (TaC) za različne komponente in nosilce.Vodilni postopek nanosa Semicera omogoča, da prevleke iz tantalovega karbida (TaC) dosežejo visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično toleranco, s čimer izboljšajo kakovost izdelkov kristalov SIC/GAN in plasti EPI (TaC suceptor prevlečen z grafitom) in podaljšanje življenjske dobe ključnih komponent reaktorja. Uporaba prevleke TaC iz tantalovega karbida je namenjena reševanju problema robov in izboljšanju kakovosti rasti kristalov, Semicera pa je prelomno rešila tehnologijo prevleke iz tantalovega karbida (CVD) in dosegla mednarodno napredno raven.

 

Semicera je po letih razvoja osvojila tehnologijoCVD TaCs skupnimi močmi oddelka za raziskave in razvoj. Napake se zlahka pojavijo v procesu rasti SiC rezin, vendar po uporabiTaC, razlika je bistvena. Spodaj je primerjava rezin z in brez TaC, kot tudi delov Simicera za rast monokristalov.

微信图片_20240227150045

z in brez TaC

微信图片_20240227150053

Po uporabi TaC (desno)

Še več, Semicera'sIzdelki, prevlečeni s TaCimajo daljšo življenjsko dobo in večjo odpornost na visoke temperature v primerjavi zSiC prevleke.Laboratorijske meritve so pokazale, da našTaC premazilahko dosledno deluje pri temperaturah do 2300 stopinj Celzija daljša obdobja. Spodaj je nekaj primerov naših vzorcev:

 
0 (1)
Delovno mesto Semicera
Delovno mesto Semicera 2
Stroj za opremo
Semicera Ware House
CNN obdelava, kemično čiščenje, CVD premaz
Naše storitve

  • Prejšnja:
  • Naprej: