Grafitni susceptor s prevleko iz silicijevega karbida, 6 kosov 6-palčnega nosilca rezin

Grafitni suceptor zPrevleka iz silicijevega karbida, 6 kosov6-palčni nosilec za rezineiz semicera nudi izjemno vzdržljivost in toplotno prevodnost za visoko zmogljive aplikacije epitaksialne rasti. Semicera je specializirana za napredne suceptorje, namenjene izboljšanju procesov, kot jeSi EpitaksijainSiC epitaksija, ki zagotavlja zanesljivo delovanje v zahtevnih polprevodniških okoljih.

Ta suceptor je zasnovan posebej za uporabo zMOCVD susceptorsisteme in ponuja združljivost z različnimi nosilci, kot so PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier in RTP Carrier. Idealen je za proizvodnjo monokristalnega silicija in nastavitve epitaksialnih susceptorjev LED, saj ponuja vsestranskost v različnih konfiguracijah, vključno z zasnovami sodčastih in palačinkastih susceptorjev.

Grafitni susceptor s prevleko iz silicijevega karbida podpira tudi aplikacije v sektorju sončne energije prek integracije s fotonapetostnimi deli in se odlikuje po postopkih epitaksije GaN na SiC. Njegova 6-palčna zmogljivost nosilca rezin zagotavlja visoko prepustnost, zaradi česar je bistveno orodje za proizvajalce v polprevodniški in fotovoltaični industriji.