GaAs substrate delimo na prevodne in polizolacijske, ki se pogosto uporabljajo v laserju (LD), polprevodniških svetlečih diodah (LED), skoraj infrardečem laserju, visokozmogljivem laserju s kvantno vrtino in visokoučinkovitih sončnih panelih. Čipi HEMT in HBT za radarske, mikrovalovne, milimetrske ali ultrahitre računalnike in optične komunikacije; Radiofrekvenčne naprave za brezžično komunikacijo, 4G, 5G, satelitsko komunikacijo, WLAN.
V zadnjem času so substrati iz galijevega arzenida močno napredovali tudi pri mini-LED, Micro-LED in rdečih LED ter se pogosto uporabljajo v nosljivih napravah AR/VR.
Premer | 50 mm | 75 mm | 100 mm | 150 mm |
Metoda rasti | LEC液封直拉法 |
Debelina rezin | 350 um ~ 625 um |
Orientacija | <100> / <111> / <110> ali drugi |
Prevodni tip | P – tip / N – tip / Polizolacijski |
Tip/Dopant | Zn / Si / nedopiran |
Koncentracija nosilca | 1E17 ~ 5E19 cm-3 |
Upornost pri RT | ≥1E7 za SI |
Mobilnost | ≥4000 |
EPD (gostota jedkane jamice) | 100~1E5 |
TTV | ≤ 10 um |
Lok / osnova | ≤ 20 um |
Površinska obdelava | DSP/SSP |
Laserska oznaka |
|
Ocena | Epi polirani razred / mehanski razred |