Semicera s ponosom predstavljaGa2O3Substrat, vrhunski material, ki je pripravljen narediti revolucijo v močnostni elektroniki in optoelektroniki.Galijev oksid (Ga2O3) podlageso znani po svoji ultra široki pasovni vrzeli, zaradi česar so idealni za visoko zmogljive in visokofrekvenčne naprave.
Ključne značilnosti:
• Ultra-Wide Bandgap: Ga2O3 ponuja pasovni razmik približno 4,8 eV, kar bistveno izboljša njegovo sposobnost obvladovanja visokih napetosti in temperatur v primerjavi s tradicionalnimi materiali, kot sta silicij in GaN.
• Visoka prebojna napetost: z izjemnim prebojnim poljem jeGa2O3Substratje popoln za naprave, ki zahtevajo visokonapetostno delovanje, kar zagotavlja večjo učinkovitost in zanesljivost.
• Toplotna stabilnost: Zaradi vrhunske toplotne stabilnosti materiala je primeren za uporabo v ekstremnih okoljih, pri čemer ohranja zmogljivost tudi v težkih pogojih.
• Vsestranske uporabe: Idealen za uporabo v močnostnih tranzistorjih z visokim izkoristkom, UV optoelektronskih napravah in več, kar zagotavlja robusten temelj za napredne elektronske sisteme.
Izkusite prihodnost polprevodniške tehnologije s SemiceroGa2O3Substrat. Ta substrat, zasnovan tako, da ustreza naraščajočim zahtevam visokozmogljive in visokofrekvenčne elektronike, postavlja nov standard za zmogljivost in vzdržljivost. Zaupajte Semiceri, da bo zagotovila inovativne rešitve za vaše najzahtevnejše aplikacije.
| Predmeti | Proizvodnja | Raziskovanje | Dummy |
| Parametri kristala | |||
| Politip | 4H | ||
| Napaka orientacije površine | <11-20 >4±0,15° | ||
| Električni parametri | |||
| Dopant | n-vrsta dušika | ||
| Upornost | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mehanski parametri | |||
| Premer | 150,0±0,2 mm | ||
| Debelina | 350±25 μm | ||
| Primarna ravna orientacija | [1-100]±5° | ||
| Primarna ravna dolžina | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundarno stanovanje | Noben | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Priklon | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45 μm ~ 45 μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Sprednja (Si-face) hrapavost (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Gostota mikrocevi | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kovinske nečistoče | ≤5E10atomov/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Sprednja kakovost | |||
| Spredaj | Si | ||
| Površinska obdelava | Si-face CMP | ||
| delci | ≤60ea/vafelj (velikost≥0,3μm) | NA | |
| praske | ≤5ea/mm. Kumulativna dolžina ≤premera | Kumulativna dolžina≤2*Premer | NA |
| Pomarančna lupina/koščice/madeži/braze/razpoke/kontaminacija | Noben | NA | |
| Robni odrezki/vdolbine/zlomi/šestokotne plošče | Noben | ||
| Politipska območja | Noben | Kumulativna površina≤20% | Kumulativna površina≤30% |
| Sprednje lasersko označevanje | Noben | ||
| Kakovost hrbta | |||
| Zadnji zaključek | C-obraz CMP | ||
| praske | ≤5ea/mm, kumulativna dolžina≤2*premer | NA | |
| Napake na zadnji strani (ostružki robov/vdolbine) | Noben | ||
| Hrapavost hrbta | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasersko označevanje hrbta | 1 mm (od zgornjega roba) | ||
| Edge | |||
| Edge | Posnemanje | ||
| Pakiranje | |||
| Pakiranje | Epi-ready z vakuumsko embalažo Embalaža kaset z več rezinami | ||
| *Opombe: "NA" pomeni, da ni zahteve. Elementi, ki niso omenjeni, se lahko nanašajo na SEMI-STD. | |||
