SiC prevleka Epi sistem induktivno ogrevanega soda

SiC prevleka z induktivno ogrevanim sodom Epi System Prikazana slika

Kratek opis:

Semicera ponuja obsežno paleto suceptorjev in grafitnih komponent, zasnovanih za različne epitaksijske reaktorje.

S strateškim partnerstvom z vodilnimi proizvajalci originalne opreme v panogi, obsežnim strokovnim znanjem o materialih in naprednimi proizvodnimi zmogljivostmi Semicera zagotavlja prilagojene modele za izpolnjevanje posebnih zahtev vaše aplikacije. Naša zavezanost k odličnosti zagotavlja, da boste prejeli optimalne rešitve za vaše potrebe po epitaksijskem reaktorju.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Naše podjetje zagotavljaSiC prevlekaprocesne storitve na površini grafita, keramike in drugih materialov z metodo CVD, tako da lahko posebni plini, ki vsebujejo ogljik in silicij, reagirajo pri visoki temperaturi, da dobijo molekule Sic visoke čistosti, ki se lahko nanesejo na površino prevlečenih materialov in tvorijoSiC zaščitna plastza hipnotik tipa sod za epitaksijo.

Glavne značilnosti:

1. SiC prevlečen grafit visoke čistosti

2. Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost

3. V reduPrevlečen s kristali SiCza gladko površino

4. Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju

Cev susceptor s prevleko SiC v polprevodniku

Glavne specifikacijeCVD-SIC prevleka

SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99,99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (CTE)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300