Monokristalni material silicijevega karbida (SiC) ima veliko širino reže (~Si 3-krat), visoko toplotno prevodnost (~Si 3,3-krat ali GaAs 10-krat), visoko stopnjo nasičenosti z elektroni (~Si 2,5-krat), visoko prebojno električno polje (~Si 10-krat ali GaAs 5-krat) in druge izjemne lastnosti.
Polprevodniški materiali tretje generacije vključujejo predvsem SiC, GaN, diamant itd., Ker je njihova širina pasovne vrzeli (Eg) večja ali enaka 2,3 elektronvolta (eV), znani tudi kot polprevodniški materiali s široko pasovno vrzeljo. V primerjavi s polprevodniškimi materiali prve in druge generacije imajo polprevodniški materiali tretje generacije prednosti visoke toplotne prevodnosti, visokega razgradnega električnega polja, visoke hitrosti migracije nasičenih elektronov in visoke energije vezave, kar lahko izpolni nove zahteve sodobne elektronske tehnologije za visoko temperatura, visoka moč, visok tlak, visoka frekvenca in odpornost proti sevanju ter drugi težki pogoji. Ima pomembne možnosti za uporabo na področju nacionalne obrambe, letalstva, vesoljske industrije, raziskovanja nafte, optičnega shranjevanja itd. in lahko zmanjša izgubo energije za več kot 50 % v številnih strateških panogah, kot so širokopasovne komunikacije, sončna energija, proizvodnja avtomobilov, polprevodniško razsvetljavo in pametno omrežje ter lahko zmanjša količino opreme za več kot 75 %, kar je mejnik za razvoj človeške znanosti in tehnologije.
Semicera energy lahko strankam zagotovi visokokakovostno prevodno (prevodno), polizolacijsko (polizolacijsko), HPSI (polizolacijsko visoko čistost) podlago iz silicijevega karbida; Poleg tega lahko kupcem zagotovimo homogene in heterogene epitaksialne plošče iz silicijevega karbida; Prav tako lahko prilagodimo epitaksialno ploščo glede na posebne potrebe kupcev in minimalne količine naročila ni.
| Predmeti | Proizvodnja | Raziskovanje | Dummy |
| Parametri kristala | |||
| Politip | 4H | ||
| Napaka orientacije površine | <11-20 >4±0,15° | ||
| Električni parametri | |||
| Dopant | n-vrsta dušika | ||
| Upornost | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mehanski parametri | |||
| Premer | 150,0±0,2 mm | ||
| Debelina | 350±25 μm | ||
| Primarna ravna orientacija | [1-100]±5° | ||
| Primarna ravna dolžina | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundarno stanovanje | Noben | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Priklon | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45 μm ~ 45 μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Sprednja (Si-face) hrapavost (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Gostota mikrocevi | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kovinske nečistoče | ≤5E10atomov/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Sprednja kakovost | |||
| Spredaj | Si | ||
| Površinska obdelava | Si-face CMP | ||
| delci | ≤60ea/vafelj (velikost≥0,3μm) | NA | |
| praske | ≤5ea/mm. Kumulativna dolžina ≤ premera | Kumulativna dolžina≤2*Premer | NA |
| Pomarančna lupina/koščice/madeži/braze/razpoke/kontaminacija | Noben | NA | |
| Robni odrezki/vdolbine/zlomi/šestokotne plošče | Noben | ||
| Politipska območja | Noben | Kumulativna površina≤20% | Kumulativna površina≤30% |
| Sprednje lasersko označevanje | Noben | ||
| Kakovost hrbta | |||
| Zadnji zaključek | C-obraz CMP | ||
| praske | ≤5ea/mm, kumulativna dolžina≤2*premer | NA | |
| Napake na zadnji strani (ostružki robov/vdolbine) | Noben | ||
| Hrapavost hrbta | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasersko označevanje hrbta | 1 mm (od zgornjega roba) | ||
| Edge | |||
| Edge | Posnemanje | ||
| Pakiranje | |||
| Pakiranje | Epi-ready z vakuumsko embalažo Embalaža kaset z več rezinami | ||
| *Opombe: "NA" pomeni, da ni zahteve. Elementi, ki niso omenjeni, se lahko nanašajo na SEMI-STD. | |||
