4-palčni substrat SiC tipa N

Predstavljena slika 4-palčnega substrata N-tipa SiC

Kratek opis:

Semicera ponuja široko paleto 4H-8H SiC rezin. Že vrsto let smo proizvajalec in dobavitelj izdelkov za industrijo polprevodnikov in fotovoltaike. Naši glavni proizvodi vključujejo: plošče za jedkanje iz silicijevega karbida, prikolice za čolne iz silicijevega karbida, čolne z rezinami iz silicijevega karbida (PV in polprevodniki), cevi za peči iz silicijevega karbida, konzolne lopatice iz silicijevega karbida, vpenjalne glave iz silicijevega karbida, nosilce iz silicijevega karbida, kot tudi CVD SiC prevleke in TaC premazi. Pokriva večino evropskih in ameriških trgov. Veselimo se, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Monokristalni material silicijevega karbida (SiC) ima veliko širino reže (~Si 3-krat), visoko toplotno prevodnost (~Si 3,3-krat ali GaAs 10-krat), visoko stopnjo nasičenosti z elektroni (~Si 2,5-krat), visoko prebojno električno polje (~Si 10-krat ali GaAs 5-krat) in druge izjemne lastnosti.

Semicera energy lahko strankam zagotovi visokokakovostno prevodno (prevodno), polizolacijsko (polizolacijsko), HPSI (polizolacijsko visoko čistost) podlago iz silicijevega karbida; Poleg tega lahko kupcem zagotovimo homogene in heterogene epitaksialne plošče iz silicijevega karbida; Prav tako lahko prilagodimo epitaksialno ploščo glede na posebne potrebe kupcev in minimalne količine naročila ni.

Predmeti	Proizvodnja	Raziskovanje	Dummy
Parametri kristala
Politip	4H
Napaka orientacije površine	<11-20 >4±0,15°
Električni parametri
Dopant	n-vrsta dušika
Upornost	0,015-0,025 ohm·cm
Mehanski parametri
Premer	99,5 - 100 mm
Debelina	350±25 μm
Primarna ravna orientacija	[1-100]±5°
Primarna ravna dolžina	32,5±1,5 mm
Sekundarni ravni položaj	90° CW od primarne ravnine ±5°. silikon obrnjena navzgor
Sekundarna ravna dolžina	18±1,5 mm
TTV	≤5 μm	≤10 μm	≤20 μm
LTV	≤2 μm (5 mm * 5 mm)	≤5 μm (5 mm * 5 mm)	NA
Priklon	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45 μm ~ 45 μm
Warp	≤20 μm	≤45 μm	≤50 μm
Sprednja (Si-face) hrapavost (AFM)	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Struktura
Gostota mikrocevi	≤1 ea/cm2	≤5 ea/cm2	≤10 ea/cm2
Kovinske nečistoče	≤5E10atomov/cm2		NA
BPD	≤1500 ea/cm2	≤3000 ea/cm2	NA
TSD	≤500 ea/cm2	≤1000 ea/cm2	NA
Sprednja kakovost
Spredaj	Si
Površinska obdelava	Si-face CMP
delci	≤60ea/vafelj (velikost≥0,3μm)	NA
praske	≤2ea/mm. Kumulativna dolžina ≤ premera	Kumulativna dolžina≤2*Premer	NA
Pomarančna lupina/koščice/madeži/braze/razpoke/kontaminacija	Noben		NA
Robni odrezki/vdolbine/zlomi/šestokotne plošče	Noben		NA
Politipska območja	Noben	Kumulativna površina≤20%	Kumulativna površina≤30%
Sprednje lasersko označevanje	Noben
Kakovost hrbta
Zadnji zaključek	C-obraz CMP
praske	≤5ea/mm, kumulativna dolžina≤2*premer	NA
Napake na zadnji strani (ostružki robov/vdolbine)	Noben
Hrapavost hrbta	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Lasersko označevanje hrbta	1 mm (od zgornjega roba)
Edge
Edge	Posnemanje
Pakiranje
Pakiranje	Notranja vreča je napolnjena z dušikom, zunanja vreča pa je vakuumirana. Multi-wafer kaseta, epi-ready.
*Opombe: "NA" pomeni, da ni zahteve. Elementi, ki niso omenjeni, se lahko nanašajo na SEMI-STD.